[发明专利]固支梁间接加热在线式已知频率微波相位检测器

权利要求书

1.一种固支梁间接加热在线式已知频率微波相位检测器，其特征在于该相位检测器由六端口固支梁耦合器（1）、微波相位检测器（2）和第一间接加热式微波功率传感器（3-1）和第二间接加热式微波功率传感器（3-2）级联构成；其中，六端口固支梁耦合器（1）的第一端口（1-1）到第三端口（1-3）、第四端口（1-4）以及第一端口（1-1）到第五端口（1-5）、第六端口（1-6）的功率耦合度分别相同，待测信号经第一端口（1-1）输入，由第三端口（1-3）和第五端口（1-5）分别输出到第一间接加热式微波功率传感器（3-1）、第二间接加热式微波功率传感器（3-2），由第四端口（1-4）和第六端口（1-6）分别输出到微波相位检测器（2）中的第一Wilkinson功率合成器（4-1）和第二Wilkinson功率合成器（4-2），由第二端口（1-2）输出到下级处理电路；Wilkinson功率分配器（5）的输入端接参考信号输入，Wilkinson功率分配器（5）的输出端口分别接第一Wilkinson功率合成器（4-1）和第二Wilkinson功率合成器（4-2），并由第一Wilkinson功率合成器（4-1）和第二Wilkinson功率合成器（4-2）分别输出到第三间接加热式微波功率传感器（3-3）和第四间接加热式微波功率传感器（3-4）；

其中，六端口固支梁耦合器（1）的结构以其中心线左右对称设置，由共面波导（8），介质层（10），空气层（12）和固支梁（11）构成；共面波导（8）制作在SiO₂层（7）上，SiO₂层（7）制作在Si 衬底（6）上，固支梁（11）的锚区（9）制作在共面波导（8）上，固支梁（11）的下方沉积介质层（10），并与空气层（12）、固支梁（11）共同构成耦合电容结构，两个固支梁（11）之间的共面波导（8）长度为λ/4。

2.如权利要求1所述的固支梁间接加热在线式已知频率微波相位检测器，其特征在于直接加热式微波功率传感器由Si衬底（6）、SiO₂层（7）、共面波导（8）、终端电阻（16）、P型半导体臂（17）、N型半导体臂（18）和输出电极（19）构成；微波功率通过共面波导（8）输入到终端电阻（16）被转化成热量；P型半导体臂（17）和N型半导体臂（18）构成热电偶，热电偶靠近终端电阻（16）区域作为热端（20），靠近输出电极（19）区域作为冷端（21）。