[发明专利]硅基已知频率缝隙耦合式间接式毫米波相位检测器

权利要求书

1.一种硅基已知频率缝隙耦合式间接式毫米波相位检测器，其特征在于，该相位检测器制作在高阻Si衬底(11)上，是由共面波导(2)、一号缝隙耦合结构(4-1)、二号缝隙耦合结构(4-2)、三号缝隙耦合结构(4-3)、四号缝隙耦合结构(4-4)、移相器(3)、一个Wilkinson功分器、二个Wilkinson功合器以及四个间接式热电式功率传感器所构成，具体结构的连接关系如下：第一端口(1-1)是信号输入端，一号缝隙耦合结构(4-1)和二号缝隙耦合结构(4-2)位于共面波导(2)上侧地线，三号缝隙耦合结构(4-3)和四号缝隙耦合结构(4-4)则位于共面波导(2)下侧地线，这两对缝隙关于中心信号线对称，它们之间由一个移相器(3)隔开，一号缝隙耦合结构(4-1)连接到第二端口(1-2)，第二端口(1-2)与一号间接式热电式功率传感器相连，同样的，二号缝隙耦合结构(4-2)连接到第三端口(1-3)，第三端口(1-3)与二号间接式热电式功率传感器连接；对于相位检测模块(1)，三号缝隙耦合结构(4-3)与第四端口(1-4)相连，第四端口(1-4)连接到一号Wilkinson功合器，四号缝隙耦合结构(4-4)与第五端口(1-5)相连，第五端口(1-5)连接到二号Wilkinson功合器，参考信号通过三号Wilkinson功分器的输入端输入，三号Wilkinson功分器的输出端分别连接到一号Wilkinson功合器和二号Wilkinson功合器；一号Wilkinson功合器的输出端连接三号间接式热电式功率传感器，二号Wilkinson功合器的输出端连接四号间接式热电式功率传感器，第六端口(1-6)处连接着后续处理电路。

2.如权利要求1所述的硅基已知频率缝隙耦合式间接式毫米波相位检测器，其特征在于，Wilkinson功分器和Wilkinson功合器的结构是相同的，主要由共面波导(2)、非对称共面带线(13)和电阻(5)构成，其中两条长度相同的非对称共面带线(13)能够将共面波导(2)上的毫米波信号分为相等的两部分，而电阻(5)位于两条非对称共面带线(13)的末端。

3.如权利要求1所述的硅基已知频率缝隙耦合式间接式毫米波相位检测器，其特征在于，采用间接式热电式功率传感器来实现热电转换，它主要由共面波导(2)、两个电阻(5)以及热电堆(6)所构成，而热电堆(6)又是由P型半导体臂(7)和N型半导体臂(8)通过欧姆接触(9)级联组成，其中共面波导(2)与两个电阻(5)相连，而热电堆(6)与终端电阻(5)之间有一段间隔。