[发明专利]半导体结构及其制造方法在审
申请号: | 201710054102.5 | 申请日: | 2017-01-22 |
公开(公告)号: | CN108231724A | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 林柏均 | 申请(专利权)人: | 南亚科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李昕巍;郑特强 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装件 基板 半导体结构 晶粒 电连接 凸块 传导 粘着剂 制造 | ||
1.一种半导体结构,包括:
一第一封装件,包含一基板与位于该基板上的一晶粒,该晶粒通过一第一传导凸块而电连接至该基板;
一第二封装件,位于该第一封装件上,并且通过一第二传导凸块而电连接至该基板;以及
一粘着剂,位于该晶粒与该第二封装件之间。
2.如权利要求1所述的半导体结构,其中该晶粒通过该粘着剂附接至该第二封装件。
3.如权利要求1所述的半导体结构,其中该粘着剂具热传导性或是具有0.01至100W/(m·K)的等效热传导性。
4.如权利要求1所述的半导体结构,其中该粘着剂包含铝、银、碳、或具有热传导性实质大于或等于25W/(m·K)的粒子。
5.如权利要求1所述的半导体结构,其中该晶粒、该第一传导凸块、以及该第二传导凸块位于该基板与该第二封装件之间。
6.如权利要求1所述的半导体结构,其中该晶粒被该第二传导凸块环绕。
7.如权利要求1所述的半导体结构,其中该基板包含一第一表面以及与该第一表面对立的一第二表面,以及该第一传导凸块与该第二传导凸块位于该第一表面上。
8.如权利要求7所述的半导体结构,其中该基板包含位于该第二表面上的一第三传导凸块。
9.如权利要求8所述的半导体结构,另包括一电路板,通过该第三传导凸块而与该基板接合。
10.如权利要求1所述的半导体结构,其中该第一传导凸块被一底胶填充材料环绕。
11.如权利要求1所述的半导体结构,其中该晶粒包含一第三表面以及与该第三表面对立的一第四表面,该粘着剂位于该第三表面上,以及该第一传导凸块位于该第四表面上。
12.如权利要求1所述的半导体结构,其中该晶粒被一模制件囊封,以及该粘着剂位于该模制件上。
13.如权利要求1所述的半导体结构,其中该第二传导凸块的高度实质大于该晶粒的厚度。
14.一种半导体结构的制造方法,包括:
提供一第一封装件,该第一封装件包含一基板以及位于该基板上的一晶粒,该晶粒通过一第一传导凸块而电连接至该基板;
提供一第二封装件,该第二封装件包含一第二传导凸块;
配置一粘着剂于该晶粒或该第二封装件上;以及
通过该第二传导凸块而接合该第二封装件与该基板,
其中该粘着剂位于该晶粒与该第二封装件之间。
15.如权利要求14所述的制造方法,其中通过涂覆或点胶而配置该粘着剂。
16.如权利要求14所述的制造方法,其中当该第二传导凸块与该基板接合时,该粘着剂接触该晶粒与该第二封装件。
17.如权利要求14所述的制造方法,其中该粘着剂经配置以自该晶粒将热传向该第二封装件。
18.如权利要求14所述的制造方法,其中在该第二封装件与该基板接合之后,加热该半导体结构。
19.如权利要求18所述的制造方法,其中该第二封装件的曲度与该基板的曲度实质相同。
20.如权利要求14所述的制造方法,还包括将该第二封装件对准该基板。
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