[发明专利]超高纯锗棒或锭的杂质浓度检测方法在审
| 申请号： | 201710054354.8 | 申请日： | 2017-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN108344774A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 邓杰;赵青松;朱刘 | 申请（专利权）人： | 清远先导材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01N27/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 函数关系式 浓度检测 超高纯 探针 采用直流 待测样品 检测结果 测量点 产业化 电压降 探针法 涂覆 铟镓 合金 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种超高纯锗棒或锭的杂质浓度检测方法，采用直流两探针法检测杂质浓度，其特征在于：
所述锗棒或锭在77K恒温下进行检测；
所述锗棒或锭的径向长度的任一测量点涂覆铟镓合金；
所述两探针测得的等间距电压降U，通过函数关系式
计算得到电阻率ρ，式中， I是通过待测锗棒或锭的电流；S是待测锗棒或锭的横截面面积；L是探针间距；
再根据函数关系式，计算得到探针笔间的锗棒或锭的平均净杂质浓度n；式中，q 是单位电荷量1.602×10-19C；μ 是锗的本征迁移率，77K下为40000 cm2/（V·s）。
2. 根据权利要求1所述的超高纯锗棒或锭的杂质浓度检测方法，其特征在于：所述锗棒或锭表面的相邻测量点的间距为0.5~2 cm 。
3.根据权利要求1所述的超高纯锗棒或锭的杂质浓度检测方法，其特征在于：所述涂覆的铟镓合金呈细线形式。
4.根据权利要求1所述的超高纯锗棒或锭的杂质浓度检测方法，其特征在于：所述检测方法的专用微处理机可根据函数关系式：和输出以对数坐标表示净杂质浓度与锗棒或锭径向长度的分布曲线。
5.根据权利要求1所述的超高纯锗棒或锭的杂质浓度检测方法，其特征在于：所述锗棒或锭的径向截面面积保持不变或线性变化。
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