[发明专利]高分子化合物、负型抗蚀剂组合物、层叠体、图案形成方法及化合物

权利要求书

1.一种高分子化合物，其特征在于，含有以下述通式(1)所示的重复单元，且进一步含有选自以下述通式(2)所示的重复单元及以下述通式(3)所示的重复单元中的一种以上，

式中，A表示单键；R¹表示氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基；R²表示氢原子，卤素原子，碳原子数为2～8的可被卤代的直链状、支链状或环状的酰氧基，碳原子数为1～6的可被卤代的直链状、支链状或环状的烷基，或碳原子数为1～6的可被卤代的直链状、支链状或环状的烷氧基；L表示氢原子或在链的中间可含有醚性氧原子、羰基或羰氧基的碳原子数为1～10的直链状、支链状或环状的脂肪族一价烃基，或可具有取代基的一价芳香环基；f为1～3的整数；s为0～2的整数；a为(5+2s-f)的整数；m表示0或1；Rx、Ry表示氢原子、或以下述(i)或(ii)所示的取代基中的任意一种，Rx、Ry不同时为氢原子；

(i)可具有取代基的一价芳香环基；

(ii)可被氟原子以外的卤素原子、羟基或烷氧基取代的碳原子数为1～15的烷基或碳原子数为7～15的芳烷基，Rx、Ry中的与结合有Rx、Ry的碳原子直接结合的碳原子未与氢原子结合，

B、C表示单键、或在链的中间可含有醚性氧原子的碳原子数为1～10的亚烷基；D表示单键或可被氟原子取代的、在链的中间可含有醚性氧原子、羰基或羰氧基的碳原子数为1～10的直链状、支链状或环状的(v+1)价的脂肪族烃基；R¹表示氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基；R³、R⁴分别独立地表示氢原子，卤素原子，碳原子数为2～8的可被卤代的直链状、支链状或环状的酰氧基，碳原子数为1～6的可被卤代的直链状、支链状或环状的烷基，或碳原子数为1～6的可被卤代的直链状、支链状或环状的烷氧基；Rf₁、Rf₂表示具有一个以上的氟原子的碳原子数为1～6的烷基，Rf₁可与D结合并与结合它们的碳原子一同形成环；g表示1～3的整数；h表示1或2；r表示0或1；v表示1或2；t、u表示0～2的整数；b表示(5+2t-g)的整数；c表示(5+2u-h)的整数；n、p分别独立地表示0或1；其中，r为0时，p为1，C为单键。

2.根据权利要求1所述的高分子化合物，其特征在于，所述高分子化合物进一步含有选自以下述通式(4)所示的重复单元及以下述通式(5)所示的重复单元中的一种以上，

式中，R⁵、R⁶分别独立地表示氢原子，卤素原子，碳原子数2～8的可被卤代的直链状、支链状或环状的酰氧基，碳原子数1～6的可被卤代的直链状、支链状或环状的烷基，或碳原子数1～6的可被卤代的直链状、支链状或环状的烷氧基；i、j为0～3的整数，d为0～5的整数，e为0～3的整数。