[发明专利]一种高截止、低波纹的准矩形窄带滤光片有效

申请号：	201710056528.4	申请日：	2017-01-25
公开（公告）号：	CN106597591B	公开（公告）日：	2022-07-26
发明（设计）人：	艾曼灵;金波;顾培夫	申请（专利权）人：	杭州科汀光学技术有限公司
主分类号：	G02B5/28	分类号：	G02B5/28
代理公司：	杭州天勤知识产权代理有限公司 33224	代理人：	陈升华
地址：	311100 浙江省***	国省代码：	浙江;33
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摘要：
搜索关键词：	一种截止波纹矩形窄带滤光
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【权利要求书】：

1.一种滤光片，包括基底以及分别设置在所述基底两侧的主膜系和截止膜系，其特征在于，所述的主膜系和截止膜系均由四个法布里-珀罗滤光片的三重周期结构组成，所述的主膜系为G[(HL)⁴H2L3H(LH)⁴L(HL)⁵H2LH(LH)⁵L(HL)⁵H2L3H(LH)⁵L(HL)⁴H2L3H(LH)⁴L]³A；

所述的截止膜系为G[(HL)³H4L2H4L3H(LH)³L(HL)⁴H4L2H4LH(LH)⁴L(HL)⁴H4L2H4L3H(LH)⁴L(HL)³H4L2H4L3H(LH)³L]³A，截止膜系通带两侧的次峰波长位置与主膜系完全叉开；

其中，G代表基底，A代表空气，H表示四分之一波长膜厚的高折射率膜层，L表示四分之一波长膜厚的低折射率膜层。

2.根据权利要求1所述的滤光片，其特征在于，所述的主膜系总层数为264层，其中靠空气侧的最外二层膜的厚度依次修正为：0.7930H和2.5964L。

3.根据权利要求1所述的滤光片，其特征在于，所述的截止膜系总层数为240层，其中靠空气侧的最外二层膜的厚度依次修正为：0.7467H和0.6217L。

4.根据权利要求1所述的滤光片，其特征在于，所述的高折射率膜层为氧化钛、氧化铌或氧化钽，所述的低折射率膜层为氧化硅。

5.根据权利要求1所述的滤光片，其特征在于，所述的滤光片的中心波长为1000nm～1600nm。

6.根据权利要求5所述的滤光片，其特征在于，所述的基底在波长为1000nm～1600nm时，折射率1.48～1.55。

7.根据权利要求5所述的滤光片，其特征在于，所述的滤光片的中心波长为1550nm或1060nm。

8.根据权利要求7所述的滤光片，其特征在于，所述的中心波长为1550nm，基底采用日本OHARA生产的WMS-13，基底WMS-13在1550nm的折射率1.52；

所述的中心波长为1060nm，基底采用德国肖特的BK7，基底BK7在1060nm的折射率为1.51。

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