[发明专利]籽晶夹头及单晶提拉炉在审
| 申请号： | 201710056545.8 | 申请日： | 2017-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108342770A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 李寅锋;温雅楠 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 籽晶夹头 单晶提拉炉 气流导向 晶锭 引晶 阶段开始 体内气流 头部设置 透明夹 籽晶头 生长 夹头 拉晶 炉腔 乱流 种籽 观测 修正 保证 透明 观察 | ||
【权利要求书】：
1.一种籽晶夹头，其特征在于，所述籽晶夹头为透明夹头，所述籽晶夹头的头部设有气流导向斜面。
2.根据权利要求1所述的籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶夹头的材料为透明耐高温材料。
3.根据权利要求2所述的籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶夹头的材料为蓝宝石或透明陶瓷。
4.根据权利要求1所述的籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶夹头的头部为锥形或锥台形。
5.根据权利要求4所述的籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶夹头的头部为圆锥形或圆锥台形。
6.根据权利要求1所述的籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶夹头的底部设有籽晶固定装置。
7.根据权利要求1所述的籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶固定装置为籽晶固定孔。
8.一种单晶提拉炉，其特征在于，所述单晶提拉炉包括如权利要求1至7中任一项所述的籽晶夹头。
9.根据权利要求8所述的单晶提拉炉，其特征在于：所述单晶提拉炉还包括：
炉腔体，所述炉腔体上设有观测窗口；
坩埚，位于所述炉腔体内；
热屏，位于所述炉腔体内，且位于所述坩埚的上方；所述籽晶夹头位于所述坩埚的上方，且位于所述热屏的内侧；
提拉组件，与所述籽晶夹头相连接，适于控制所述籽晶夹头在由所述坩埚内溶体提拉生长晶锭提拉方向上升或下降。
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