[发明专利]深紫外谱段离轴四反光学成像系统

权利要求书

1.深紫外谱段离轴四反光学成像系统，定义物面中心为坐标原点，向右为Z轴正向，向上为Y轴正向；其特征在于：

所述成像系统包括窗口、离轴反射镜一、离轴反射镜二、离轴反射镜三和离轴反射镜四；

定义成像系统入射光束的主光轴为主光轴一，离轴反射镜一反射光束的主光轴为主光轴二，离轴反射镜二反射光束的主光轴为主光轴三，离轴反射镜三反射光束的主光轴为主光轴四；

窗口为平行玻璃窗，位于成像系统入射光线的主光轴上并垂直于Z轴，窗口的前表面距坐标原点距离为600mm；

离轴反射镜一为球面凹反射镜，球面半径为1114.18mm，镜体口径为φ170mm；离轴反射镜一中心沿Y轴正向偏离所述主光轴一261.80mm，并绕X轴逆时针旋转9.378°；沿所述主光轴一方向，离轴反射镜一与窗口之间的距离为692.08mm；

离轴反射镜二为球面凸反射镜，球面半径为905.45mm，镜体口径为φ80mm；离轴反射镜二中心沿Y轴正向偏离所述主光轴一253.85mm，并绕X轴逆时针旋转6.208°；沿所述主光轴二方向，离轴反射镜二与离轴反射镜一之间的距离为692.08mm；

离轴反射镜三为球面凸反射镜，球面半径为1866.64mm，镜体口径为φ65mm；离轴反射镜三中心沿Y轴正向偏离所述主光轴一246.16mm，并绕X轴逆时针旋转13.12°；沿所述主光轴三方向，离轴反射镜三与离轴反射镜二之间的距离为471.47mm；

离轴反射镜四为凹面离轴抛物镜，抛物镜顶点处曲率半径为1326.64mm，镜体口径为φ65mm；离轴反射镜四中心沿Y轴负向偏离所述主光轴一467.65mm，并绕X轴逆时针旋转30.95°；沿所述主光轴四方向，离轴反射镜四与离轴反射镜三之间的距离为507.80mm。

2.根据权利要求1所述的深紫外谱段离轴四反光学成像系统，其特征在于：所述窗口材料为MgF2，直径为φ120mm，厚度为8.0mm。