[发明专利]超声波生物识别传感器

权利要求书

1.一种超声波生物识别传感器，其特征在于，包含：

一感测芯片，其包含：

一基板，其包含一第一区域以及一第二区域；

一超声波传感阵列，其设置于该第一区域，且包含多个阵列排列的压电组件，其中每一该压电组件设置于一浮板，且该浮板以横向延伸的至少一支持臂悬浮于一空腔的一开口端；以及

一控制电路，其设置于该第二区域，并经由该支持臂与每一该压电组件电性连接，以控制该超声波传感阵列产生一超声波并读取该超声波传感阵列所接收的一超声波反射信号。

2.如权利要求1所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，该空腔相对于该基板的投影面积大于或等于该浮板相对于该基板的投影面积。

3.如权利要求1所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，该空腔是以异向蚀刻法所形成。

4.如权利要求1所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，该空腔的侧壁为一斜面。

5.如权利要求1所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，该压电组件的材料包含聚偏二氟乙烯，聚偏二氟乙烯-三氟乙烯的混合材料、氮化铝或锆钛酸铅。

6.如权利要求1所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，该控制电路包含：

一控制器，用以产生一频率信号，以控制该超声波传感阵列产生该超声波；

一信号处理器，其与该控制器以及该超声波传感阵列电性连接，以处理该超声波传感阵列所接收的该超声波反射信号，以供该控制器产生一生物识别输出信号；以及

一通讯接口，其与该控制器电性连接，使该超声波生物识别传感器经由该通讯接口与一外部装置通讯。

7.如权利要求6所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，该通讯接口包含序列周边接口或通用串行总线。

8.如权利要求1所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，更包含：

一保护层，其覆盖该超声波传感阵列以及该控制电路。

9.如权利要求8所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，该保护层的材料包含光阻材料或聚酰亚胺。

10.如权利要求1所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，更包含：

一封装基板，其包含多个导电接点；以及

至少一被动组件，其设置于该封装基板的一第一表面，其中该感测芯片设置于该封装基板的该第一表面，且与该多个导电接点以及该至少一被动组件电性连接。

11.如权利要求10所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，该封装基板的材料包含聚酰亚胺。

12.如权利要求10所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，该感测芯片以多个金属凸块与该封装基板共晶键合。

13.如权利要求10所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，该感测芯片以异向导电膜固接于该封装基板。

14.如权利要求10所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，更包含：

一填充材料，其填充于该感测芯片以及该封装基板之间。

15.如权利要求1所述的超声波生物识别传感器，其特征在于，该压电组件的一工作频率介于20-30Mhz。