[发明专利]基于硅基悬臂梁T型结间接加热在线式毫米波相位检测器

权利要求书

1.一种基于硅基悬臂梁T型结间接加热在线式毫米波相位检测器，其特征是：相位检测器的实现结构选择高阻Si为衬底，传输线材料为Au，主要由悬臂梁耦合结构（14）、T型结和间接加热式微波功率传感器构成；悬臂梁耦合结构（14）左右对称，由CPW中央信号线（3）、传输线地线（4）、悬臂梁（5）、悬臂梁锚区（6）构成，在悬臂梁（5）的下方有一层Si3N4介电层（13）；悬臂梁耦合结构（14）的第三端口（1-3）和第四端口（1-4）分别与第一T型结的第八端口（3-1）和第二T型结的第十一端口（4-1）相连，参考信号从第三T型结的第五端口（2-1）输入，第三T型结的第六端口（2-2）和第一T型结的第九端口（3-2）相连，第七端口（2-3）与第二T型结的第十二端口（4-2）相连，第一T型结的第十端口（3-3）接第一间接加热式微波功率传感器，第二T型结的第十三端口（4-3）接第二间接加热式微波功率传感器。

2.根据权利要求1所述的基于硅基悬臂梁T型结间接加热在线式毫米波相位检测器，其特征是：T型结由CPW中央信号线（3）、传输线地线（4）以及空气桥（7）构成，其中空气桥用于地线之间的互连，为了方便空气桥的释放，在空气桥上制作了一组小孔阵列。

3.根据权利要求1所述的基于硅基悬臂梁T型结间接加热在线式毫米波相位检测器，其特征是：间接加热式微波功率传感器由CPW中央信号线（3）、传输线地线（4）、终端电阻（8）、P型半导体臂（9）、N型半导体臂（10）、热电堆金属互连线（11）、输出Pad（12）构成，在终端电阻（8）和热电堆的下方，高阻硅衬底（1）被刻蚀，形成SiO2薄膜结构，用于增大热电堆的输出灵敏度。