[发明专利]激光全息直接打印的干板精密定位装置和方法

权利要求书

1.一种激光全息直接打印的干板精密定位装置，其特征在于，所述装置包括：光源(1)、扩束准直镜(2)、平面反射镜(3)、空间光调制器(4)、孔径光阑(5)、双远心镜头(6)、手动数显平移台(7)、剪式升降台(8)、标准检验干板(9)、全息干板夹持件(10)、二维角度精密调节仪(11)、位移平台(12)、CCD相机(13)和计算机(14)，利用激光刻字技术在普通全息记录干板有药面的四个角上分别印刻相同的空心图案后，将其作为所述标准检验干板(9)，所述位移平台(12)包括水平运动轴线和垂直运动轴线；沿光束前进的方向，所述扩束准直镜(2)、所述平面反射镜(3)、所述空间光调制器(4)、所述孔径光阑(5)、所述双远心镜头(6)、所述手动数显平移台(7)、所述剪式升降台(8)、所述标准检验干板(9)、所述全息干板夹持件(10)、所述二维角度精密调节仪(11)、所述位移平台(12)、所述CCD相机(13)和所述计算机(14)依次设置在所述光源(1)的光路上；所述计算机(14)既向所述空间光调制器(4)加载图像，又向所述位移平台(12)传递控制信号，同时还接受并显示由所述CCD相机(13)采集到的图像；所述剪式升降台(8)固定在所述手动数显平移台(7)上，所述双远心镜头(6)固定在所述剪式升降台(8)上，通过配合使用所述手动数显平移台(7)与所述剪式升降台(8)，可在水平向和高低向分别调节所述双远心镜头(6)的位置；所述二维角度精密调节仪(11)固定在所述位移平台(12)上，所述全息干板夹持件(10)固定在所述二维角度精密调节仪(11)上，所述标准检验干板(9)可固定于所述全息干板夹持件(10)中，利用所述二维角度精密调节仪(11)，可在所述位移平台(12)的两个运动轴线方向分别调节所述标准检验干板(9)的角度，直至所述标准检验干板(9)与所述位移平台(12)的运动平面保持平行。

2.如权利要求1所述的激光全息直接打印的干板精密定位装置，其特征在于，所述全息干板夹持件(10)两侧均有凹槽，一侧凹槽固定，另一侧凹槽活动，凹槽间距可调，所述标准检验干板(9)可插入并固定于凹槽之中。

3.一种激光全息直接打印的干板精密定位方法，其特征在于，利用权利要求1所述的一种激光全息直接打印的干板精密定位装置实现，所述方法的步骤包括：

将一纯白色方形图像加载至所述空间光调制器(4)，其衍射像照亮所述标准检验干板(9)的左上角空心图案；

调整所述CCD相机(13)直至左上角空心图案的边缘轮廓清晰成像；

操控所述位移平台(12)，使得衍射像依次照亮其余空心图案，微调所述二维角度精密调节仪(11)，使得所有空心图案的边缘轮廓均清晰成像；

将一复杂图像加载至所述空间光调制器(4)，配合微调所述手动数显平移台(7)与所述剪式升降台(8)，使该复杂图像在所述CCD相机(13)中清晰成像。

4.如权利要求3所述的激光全息直接打印的干板精密定位方法，其特征在于，该方法的核心是采用可见光成像显微装置进行对准的判断。