[发明专利]感应等离子体焰炬和管状焰炬体

权利要求书

1.一种感应等离子体焰炬，包括：

管状焰炬体，具有内表面；

等离子体限制管，布置在所述管状焰炬体中，与所述管状焰炬体同轴；

气体分配器头，布置在所述等离子体限制管的一端，并构造成将至少一种气体物质供应到所述等离子体限制管中；

感应耦合构件，位于所述管状焰炬体的内表面的外部，用于对气体物质施加能量，以在所述等离子体限制管中产生并维持等离子体；

传导性的电容屏蔽层，位于所述管状焰炬体的内表面上，其中，所述电容屏蔽层被分割为轴向条，并且所述轴向条在一端互相连接；和

轴向沟槽，通过管状焰炬体的材料位于管状焰炬体的内表面中，所述轴向沟槽插入轴向条之间。

2.如权利要求1所述的感应等离子体焰炬，其中，所述电容屏蔽层由金属材料制成。

3.如权利要求1所述的感应等离子体焰炬，其中，所述等离子体限制管由纯的或复合的陶瓷材料制成。

4.如权利要求1所述的感应等离子体焰炬，包括环形腔，所述环形腔位于所述等离子体限制管的外表面和所述管状焰炬体的内表面之间，用于传导冷却流体流，以冷却电容屏蔽层和等离子体限制管两者。

5.如权利要求4所述的感应等离子体焰炬，其中，所述环形腔具有约1mm的厚度。

6.如权利要求1所述的感应等离子体焰炬，包括用于在等离子体点火期间保持电容屏蔽层处于浮动电位的装置以及用于将电容屏蔽层接地以排干当等离子体已被点火和维持时在电容屏蔽层上产生的任何电容式电位的装置。

7.一种感应等离子体焰炬，包括：

管状焰炬体，具有内表面；

等离子体限制管，布置在所述管状焰炬体中，与所述管状焰炬体同轴；

气体分配器头，布置在所述等离子体限制管的一端，并构造成将至少一种气体物质供应到所述等离子体限制管中；

感应耦合构件，嵌入所述管状焰炬体内，用于对气体物质施加能量，以在所述等离子体限制管中产生并维持等离子体；

导电的电容屏蔽层，位于所述管状焰炬体的内表面上，其中，所述电容屏蔽层被分割为轴向条，所述轴向条在一端互相连接；以及

轴向沟槽，通过管状焰炬体的材料位于所述管状焰炬体的内表面中，所述轴向沟槽插入所述轴向条之间。

8.如权利要求1或7所述的感应等离子体焰炬，其中，所述轴向沟槽之一插入每对横向相邻的轴向条之间。

9.如权利要求1或7所述的感应等离子体焰炬，其中，所述沟槽限定出没有电容屏蔽层的表面。

10.如权利要求1或7所述的感应等离子体焰炬，其中，所述沟槽具有1至10mm的宽度和1至2mm的深度。

11.如权利要求7所述的感应等离子体焰炬，其中，所述电容屏蔽层由金属材料制成。

12.如权利要求7所述的感应等离子体焰炬，其中，所述等离子体限制管由纯的或复合的陶瓷材料制成。

13.如权利要求7所述的感应等离子体焰炬，包括环形腔，所述环形腔位于所述等离子体限制管的外表面和所述管状焰炬体的内表面之间，用于传导冷却流体流，以冷却电容屏蔽层和等离子体限制管两者，其中，冷却流体还流进轴向沟槽中。

14.如权利要求13所述的感应等离子体焰炬，其中，所述环形腔具有约1mm的厚度。

15.如权利要求7所述的感应等离子体焰炬，包括用于在等离子体点火期间保持电容屏蔽层处于浮动电位的装置以及用于将电容屏蔽层接地以排干当等离子体已被点火和维持时在电容屏蔽层上产生的任何电容式电位的装置。