[发明专利]包括多边形压电薄膜传感器的泵

权利要求书

1.用于生产泵(100，200，400，500)的方法，其中压电薄膜传感器(101)被安装到泵体(120，170)，所述方法包括：

提供包括环形泵室(102)和泵体(120，170)的泵(100，200，400，500)，其中，所述泵体(120，170)的尺寸为7×7mm²或小于7×7mm²，其中所述泵室(102)的外圆周与所述泵体(120，170)的外圆周间隔开距离BP，其中所述距离BP在最小位置处至多为300μm；

提供压电陶瓷层(51)；

从所述压电陶瓷层(51)划切至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括具有至少六个拐角部的正多边形形状；和

通过将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(110)来形成所述压电薄膜传感器(101)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述距离BP少于200μm。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所提供的所述泵(100，200，400，500)包括圆形泵室。

4.根据权利要求1所述的方法，其中将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(110)来形成所述压电薄膜传感器(101)的步骤是在将所述泵薄膜(110)安装到所述泵体(120，170)的步骤之后执行的。

5.根据权利要求1所述的方法，其中将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(110)来形成所述压电薄膜传感器(101)的步骤是在将所述泵薄膜(110)安装到所述泵体(120，170)的步骤之前执行的。

6.根据权利要求1所述的方法，其中执行从所述压电陶瓷层(51)划切所述至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括偶数个多边形拐角部。

7.根据权利要求1所述的方法，其中执行从所述压电陶瓷层(51)划切所述至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括至少八个拐角部。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，当划切所述压电元件(53，83，210)时，所述压电元件(53，83，210)沿限定的锯切图案(52，80)以笔直的切口从所述压电陶瓷层(51)被锯切。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，当划切所述压电元件(53，83，210)时，所述压电元件(53，83，210)沿限定的锯切图案(52，80)由束或射流切割方法从所述压电陶瓷层(51)被切割。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述压电陶瓷层(51)是经极化的压电陶瓷膜。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述泵薄膜(110)受偏压，从而使得所述泵薄膜(110)在未致动状态下至少部分地与所述泵体(120，170)间隔开，并且此间隔开的区域形成泵室(102)，所述泵室(102)具有圆形形状的横截面。