[发明专利]激光振荡装置

说明书

本发明提供一种能够抑制激光介质循环管的膨胀的激光振荡装置。激光振荡装置具备：谐振器部，其具有导入口和排出口，该谐振器部生成激光；激光介质循环管，其一端与导入口连接，另一端与排出口连接；鼓风机，其以将激光介质从导入口导入到谐振器部、将被导入到谐振器部的激光介质从排出口排出的方式使激光介质流动；以及绝热机构，其设置在激光介质循环管的内部，该绝热机构将在该激光介质循环管中流动的激光介质与激光介质循环管之间的热传导切断。

技术领域

本发明涉及一种具备激光介质循环管的激光振荡装置。

背景技术

已知一种为了使向生成激光的谐振器部供给的激光介质循环而具备激光介质循环管和鼓风机的激光振荡装置(例如日本特开平7-231129号公报)。

从正进行放电的谐振器部排出的激光介质变为高温。通过像这样变为高温的激光介质，而激光介质循环管被加热，由此激光介质循环管可能发生热膨胀。存在这样的激光介质循环管的膨胀使谐振器部的结构部件移位的风险，因此期望抑制该膨胀。

发明内容

在本发明的一个方式中，激光振荡装置具备：谐振器部，其具有用于导入激光介质的导入口和用于排出激光介质的排出口，该谐振器部生成激光；以及激光介质循环管，其一端与导入口连接，另一端与排出口连接。

另外，激光振荡装置具备：鼓风机，其设置于所述激光介质循环管，该鼓风机以将激光介质从导入口导入到谐振器部、将被导入到谐振器部的激光介质从排出口排出的方式使该激光介质流动；以及绝热机构，其设置在激光介质循环管的内部，该绝热机构将在该激光介质循环管中流动的激光介质与激光介质循环管之间的热传导切断。

也可以是，绝热机构以遍及另一端与激光介质循环管中的比该另一端靠下游侧的位置之间的区间的方式设置。绝热机构也可以具有安装于激光介质循环管的内表面的绝热件。

也可以是，绝热机构具有绝热管，该绝热管与激光介质循环管的内表面相离地配置于该激光介质循环管的内侧，并沿着激光介质循环管延伸。在该情况下，从排出口排出的激光介质流入到绝热管，但不流入到激光介质循环管与绝热管之间的间隙。

绝热管也可以在其上游侧的端部或下游侧的端部处被激光介质循环管支承。也可以是，绝热机构具有整流机构，该整流机构对在激光介质循环管中流动的激光介质的流动进行整流。

也可以是，整流机构具有分隔壁，该分隔壁将激光介质循环管的内部的、沿着与激光介质循环管的长度方向交叉的平面的截面区域分隔为多个区域。也可以是，整流机构具有凸部，该凸部形成为从激光介质循环管的内表面突出。

也可以是，激光介质循环管具有弯曲部，该弯曲部无接合处且光滑地弯曲延伸。也可以是，激光介质循环管具有直管部，该直管部从另一端向下游侧笔直地延伸。直管部也可以具有该直管部的当量直径的3倍以上的长度。

也可以是，激光介质循环管具有波纹部，该波纹部与另一端相邻地设置。也可以是，激光振荡装置还具备热交换器，该热交换器配置在鼓风机与排出口之间，来从在激光介质循环管中流动的激光介质去除热。也可以是，绝热机构以遍及另一端与热交换器之间的区间的方式设置。

附图说明

通过参照附图来说明以下的优选的实施方式，本发明的上述或其它目的、特征和优点会变得更加明确。

图1是一个实施方式所涉及的激光振荡装置的图。

图2是表示图1所示的绝热机构的一例的图，以截面示出激光介质循环管的第一管。

图3是表示图1所示的绝热机构的其它例的图，以截面示出激光介质循环管的第一管。

图4是表示图1所示的绝热机构的另一其它例的图，以截面示出激光介质循环管的第一管。

图5是其它实施方式所涉及的激光振荡装置的图。