[发明专利]检测二维材料的表面平整度的方法在审
| 申请号： | 201710068436.8 | 申请日： | 2017-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108398117A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 赵鹏;黄永峰;孟胜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;G01N13/00 |
| 代理公司： | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人： | 黄小临;冯玉清 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面平整度 二维薄膜材料 二维材料 接触角 液滴 检测 平整度 种检测 测量 | ||
1.一种检测二维薄膜材料的表面平整度的方法，包括：
在二维薄膜材料的表面上形成至少一个液滴；
测量所述至少一个液滴的接触角；以及
基于该接触角来检测该表面的平整度。
2.如权利要求1所述的方法，其中，所述至少一个液滴包括多个液滴，测量所述至少一个液滴的接触角包括测量所述多个液滴中的每个液滴的接触角并且计算所述多个接触角的平均值。
3.如权利要求1所述的方法，其中，基于该接触角来检测该表面的平整度包括：
根据Wenzel模型，基于该接触角来计算该表面的平整度。
4.如权利要求1所述的方法，其中，根据Wenzel模型，基于该接触角来计算该表面的平整度包括：
当该表面包括均一的化学组分时，根据公式cosθ'＝Rcosθ来计算该表面的平整度；以及
当该表面包括两种化学组分时，根据公式cosθ'＝k*Rcosθ+(1-k)*cosθ来计算该表面的平整度，
其中，R是该表面的平整度，θ'是测量得到的所述至少一个液滴的接触角，θ是所述至少一个液滴在理想光滑的该表面上的理想接触角，k是所述两种化学组分的自由能的比值，且|k|≥1。
5.如权利要求1所述的方法，其中，基于该接触角来检测该表面的平整度包括：比较具有相同组分的二维薄膜材料的两个或更多样品的接触角，以确定所述两个或更多样品的表面平整度的相对水平。
6.如权利要求5所述的方法，其中，所述液滴关于所述二维薄膜材料具有疏水性，且
其中，所述接触角越大，则所述二维薄膜材料样品的表面平整度越好。
7.如权利要求1所述的方法，其中，所述液滴关于所述二维薄膜材料具有疏水性。
8.如权利要求1所述的方法，其中，所述液滴是水。
9.如权利要求1所述的方法，其中，所述液滴包括不与所述二维薄膜材料发生化学反应的液体。
10.如权利要求1所述的方法，还包括：
在二维薄膜材料的表面上形成至少一个液滴之前，清洁所述二维薄膜材料的表面。
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