[发明专利]一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法有效
| 申请号： | 201710070731.7 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN106862114B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 王占山;焦宏飞;钮信尚;何宇;鲍刚华;马彬;张锦龙;程鑫彬 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/10 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 翁惠瑜 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 lbo 晶体 表面 镀膜 清洗 方法 | ||
1.一种LBO晶体表面镀膜前的清洗方法，其特征在于，将LBO晶体依次执行下述步骤：
1)采用无水乙醇和乙醚混合液擦拭LBO晶体表面；
2)采用弱碱性溶液对LBO晶体进行超声波清洗，所述弱碱性溶液包括NH4OH和H2O2，体积比为NH4OH：H2O2：H2O＝1:8:50；
3)采用无水乙醇对LBO晶体进行漂洗；
4)将LBO晶体放置于装有无水乙醇的密闭容器内，对LBO晶体进行超声加热清洗；
5)取出LBO晶体，采用无水乙醇对LBO晶体进行漂洗；
6)在正压容器环境中利用干燥氮气风刀对LBO晶体进行干燥。
2.根据权利要求1所述的LBO晶体表面镀膜前的清洗方法，其特征在于，所述弱碱性溶液由去离子水、双氧水和氨水配制而成，配制的先后顺序为：去离子水、双氧水和氨水。
3.根据权利要求1所述的LBO晶体表面镀膜前的清洗方法，其特征在于，所述步骤2)中，进行超声波清洗时，弱碱性溶液的温度为25摄氏度，在20KHz～60KHz、80KHz～160KHz频率下先后分别超声2～4分钟。
4.根据权利要求1所述的LBO晶体表面镀膜前的清洗方法，其特征在于，所述步骤3)中，进行漂洗时，无水乙醇的温度为25摄氏度。
5.根据权利要求1所述的LBO晶体表面镀膜前的清洗方法，其特征在于，所述步骤4)中，超声加热清洗具体为：
对所述密闭容器进行水浴加热，加热温度为60摄氏度，在20KHz～60KHz、80KHz～160KHz频率下先后分别超声3～6分钟。
6.根据权利要求1所述的LBO晶体表面镀膜前的清洗方法，其特征在于，所述步骤6)中，正压容器环境为具有正压的氮气密闭容器。
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