[发明专利]压印装置以及物品制造方法

权利要求书

1.一种用于通过在使模具与自由基聚合性压印材料接触的状态下用光照射压印材料而使压印材料固化的压印装置，所述压印装置包括：

照射器，其被构造为用光照射压印材料以使压印材料固化；以及

控制器，其被构造为控制所述照射器，

其中，在照射器用光照射材料片完成之后，控制器获取关于材料片是否已经固化到目标聚合度的预定范围内的信息，以及

其中，在获取信息之后，控制器通过将目标聚合度除以来自照射器的光的照度的平方根来确定照射器用光照射另一材料片的照射时间，并控制照射器在确定的照射时间用光照射另一材料片。

2.根据权利要求1所述的压印装置，所述压印装置还包括：

照度检测器，其被构造为检测所述照射器用来照射压印材料的光的照度，

其中，令I_c为由所述照度检测器检测到的照度，k为系数，PD为所述目标聚合度，所述控制器根据下式来确定照射时间t_c：

3.根据权利要求1或2所述的压印装置，所述压印装置还包括：

供给部，其被构造为将压印材料供给在基板上；以及

驱动机构，其被构造为控制压印材料与模具之间的相对距离，

其中，在所述驱动机构已经控制所述相对距离以使模具与供给在基板上的压印材料接触的状态下，所述照射器用光照射压印材料使得压印材料被固化，然后所述驱动机构控制所述相对距离以将模具与压印材料分离，

所述驱动机构包括离型力检测器，所述离型力检测器被构造为检测将模具与压印材料分离所需的离型力，并且

在离型力落在容许范围以外的情况下，所述控制器重新确定照射时间。

4.根据权利要求1或2所述的压印装置，所述压印装置还包括：

供给部，其被构造为将压印材料供给在基板上；以及

驱动机构，其被构造为控制压印材料与模具之间的相对距离，

其中，在所述驱动机构已经控制所述相对距离以使模具与供给在基板上的压印材料接触的状态下，所述照射器用光照射压印材料使得压印材料被固化，然后所述驱动机构控制所述相对距离以将模具与压印材料分离，

所述驱动机构包括离型力检测器，所述离型力检测器被构造为检测将模具与压印材料分离所需的离型力，并且

在离型力与离型力作用于模具的时间的积落在容许范围以外的情况下，所述控制器重新确定照射时间。

5.根据权利要求1或2所述的压印装置，其中，在图案的缺陷密度落在容许范围以外的情况下，所述控制器重新确定照射时间。

6.一种物品制造方法，所述物品制造方法包括：

通过使用权利要求1中所述的压印装置来在基板上形成图案；以及

对在形成图案的步骤中形成有图案的基板进行处理。

7.一种用于通过在使模具与自由基聚合性压印材料接触的状态下用光照射压印材料而使压印材料固化的压印装置，所述压印装置包括：

照射器，其被构造为用光照射压印材料以使压印材料固化；以及

控制器，其被构造为控制所述照射器，

所述照射器包括调整器，所述调整器被构造为调整照射压印材料的光的照度，

其中，在照射器用光照射材料片完成之后，控制器获取关于材料片是否已经固化到目标聚合度的预定范围内的信息，以及

其中，在获取信息之后，控制器控制调整器，以基于将目标聚合度除以照射器照射另一材料片的照射时间而获得的值的平方，来调整当照射器用光照射另一材料片时来自照射器的光的照度。