[发明专利]一种用于单晶生长炉的真空除尘设备有效
| 申请号： | 201710071972.3 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN106669301B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 张承臣;李恒盛;马守林;赵威;林俊海;赵旭伦;张先文 | 申请（专利权）人： | 沈阳隆基电磁科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/02 | 分类号： | B01D46/02;B01D46/04;B01D46/42;B01D46/44;C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 113122 辽宁省抚*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生长 真空 除尘 设备 | ||
【权利要求书】：
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