[发明专利]用于多点扫描显微的设备和方法

权利要求书

1.一种用于多点扫描显微的设备，所述设备具有：

多色光源，所述多色光源用于提供至少一个照射光束，

分束设备，所述分束设备用于将所述照射光束分束成多个照射子光束，

第一光学装置，所述第一光学装置用于提供照射光路，所述照射光路用于将单独的照射子光束分别引导并且聚焦到待检验的样本上或所述样本中的光斑中，

扫描单元，所述扫描单元用于在所述样本上方引导所述光斑，

检测单元，所述检测单元用于检测在用所述单独的照射子光束辐照之后，检测子光束中的由所述样本辐射的检测光，

第二光学装置，所述第二光学装置用于提供检测光路，所述检测光路用于将所述检测子光束引导到所述检测单元，以及

控制和评价单元，所述控制和评价单元用于控制所述扫描单元并且用于评价由所述检测单元检测到的检测光，

所述设备的特征在于

在所述照射子光束中的至少两个照射子光束的照射光路中，存在用于独立地设定相应的照射子光束的光谱组成的可控光束操纵装置，

所述控制和评价单元被设计成控制所述光束操纵装置，

在所述检测子光束中的至少两个检测子光束的检测光路中，存在可控光谱选择装置，所述可控光谱选择装置用于独立地影响经由相应的检测子光束传递到所述检测单元的检测光的光谱组成，并且

所述控制和评价单元还被设计成控制所述光谱选择装置。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于

在每个照射子光束的照射光路中，存在光束操纵装置，所述光束操纵装置用于独立地设定所述照射子光束的光谱组成。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于

在每个检测子光束的检测光路中，存在可控光谱选择装置，所述可控光谱选择装置用于独立地影响经由相应的检测子光束传递到所述检测单元的检测光的光谱组成。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于

所述检测单元具有多个单独的检测器，所述多个单独的检测器用于测量所述样本上的特定光斑发射的检测光。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于

所述检测光路中的光学构件保持点扩散函数。

6.根据权利要求1或3所述的设备，其特征在于

所述可控光谱选择装置保持点扩散函数。

7.根据权利要求4所述的设备，其特征在于

所述单独的检测器分别是空间分辨检测器。

8.根据权利要求4所述的设备，其特征在于

所述单独的检测器选自由二维光电二极管阵列、单光子雪崩光电二极管阵列(SPAD阵列)、微通道板和光纤耦合光电倍增器构成的组。

9.根据权利要求1所述的设备，其特征在于

所述光束操纵装置具有多个声光元件。

10.根据权利要求1所述的设备，其特征在于

所述光束操纵装置具有选自由AOM、AOD和AOTF构成的组的多个声光元件。

11.根据权利要求1所述的设备，其特征在于

所述光束操纵装置具有至少一个多通道AOTF。

12.根据权利要求11所述的设备，其特征在于

所述至少一个多通道AOTF的不同通道的控制信号具有相对于彼此的恒定相位。

13.根据权利要求11所述的设备，其特征在于

在接通处理之后的所述空间多通道AOTF的不同通道的控制信号具有相对于彼此的恒定相位。

14.根据权利要求11所述的设备，其特征在于

空间上相邻通道的所述多通道AOTF的激发信号具有90°+n×180°的相对相位距离，其中，n是整数。