[发明专利]一种基板的抛光装置

权利要求书

1.一种基板的抛光装置，其包括：

基座，所述基座支承抛光部，所述基座上设置有放置所述基板的抛光垫；

抛光部，其包括与所述基板接触的抛光板，所述抛光板设置于所述基座上且位于所述抛光垫的上方；

驱动部，所述驱动部固定在所述基座上，所述驱动部驱动所述抛光部运动；

其特征在于：

通过所述抛光板的直线往复运动可对置于所述抛光垫内任意尺寸的所述基板进行抛光。

2.根据权利要求1所述的基板的抛光装置，其特征在于：所述抛光垫为方形垫，所述抛光板平行于所述抛光垫的一条边设置，且其长度与所述抛光垫的所述边相符，所述抛光板沿与所述边垂直的另一条边进行直线往复运动。

3.根据权利要求2所述的基板的抛光装置，其特征在于：所述抛光装置还包括传动部和引导装置，所述传动部连接所述驱动部与所述抛光部，所述抛光部通过连接件分别与所述传动部和所述引导装置连接。

4.根据权利要求3所述的基板的抛光装置，其特征在于：所述传动部包括水平带传动装置，所述水平带传动装置包括位于所述抛光垫前后两端的水平带轮和沿所述抛光板运动方向设置的水平传动带，所述连接件的上表面与所述水平传动带固定连接。

5.根据权利要求4所述的基板的抛光装置，其特征在于：所述引导装置为滑轨，所述连接件的下表面设置有与所述滑轨配合的所述滑槽，所述滑槽内设置有与所述滑轨抵接的滚轮。

6.根据权利要求5所述的基板的抛光装置，其特征在于：所述水平带传动装置和所述滑轨设置在所述抛光垫的至少一侧。

7.根据权利要求4所述的基板的抛光装置，其特征在于：所述传动部还包括竖向带传动装置，所述竖向带传动装置的一个带轮与所述驱动部的输出端连接，所述竖向带传动装置的另一个带轮与所述水平带传动装置其中一端的主动水平带轮同轴设置。

8.根据权利要求7所述的基板的抛光装置，其特征在于：所述基座为框架体，所述驱动部设置于所述框架体内，所述抛光装置设置于所述框架体的上表面，所述上表面还设有允许所述竖向传动装置的传动带通过的槽体。

9.根据权利要求4所述的基板的抛光装置，其特征在于：所述抛光部还包括与所述抛光板连接的压力调节装置和压力检测件，所述压力调节装置控制所述抛光板与所述基板表面的接触压力。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的基板的抛光装置，其特征在于：所述抛光装置的抛光液为氧化铝抛光液。