[发明专利]一种气体分离回收系统和混合气体实验用气路

权利要求书

1.一种混合气体实验用气路，包括具有储气罐的供气系统，其特征在于：还包括气体分离回收系统，气体分离回收系统包括气体分离管路、设置于气体分离管路上的气体分离装置和用于存放分离后各气体的分离气体存气罐，各分离气体存气罐上设有与供气系统的储气罐连通的储气罐进气管路；供气系统包括储气罐、供气管路、用于盛放六氟化硫气体的第一气瓶、用于盛放四氟化碳气体的第二气瓶、储气罐进气管路、回气管路和混合管路，储气罐具有回气口、出气口和两个进气口，供气管路一端与储气罐的出气口连通，另一端与混合气体实验设备连通，供气管路上设有第一压缩机和冷凝器，供气管路上于冷凝器的下游与储气罐的回气口连通，供气管路上于储气罐的出气口的下游设有第一开关阀，供气管路上于回气口的上游设有第二开关阀，第一开关阀、第二开关阀、第一压缩机和冷凝器及之间的气路形成混合管路；混合气体实验设备与混合气体实验用气路之间通过管路接头连接，回气管路的一端与供气管路连通，另一端与储气罐的回气口连通，回气管路与混合管路共用由第一压缩机和冷凝器形成的压缩管路，回气管路上设有第三开关阀和回气过滤装置，供气管路上于管路接头和第三开关阀之间设有第四开关阀，供气管路与回气管路之间设有中间管路，中间管路的一端与供气管路连通，中间管路的另一端与第一压缩机的上游连通，中间管路上设有第五开关阀；气体分离管路的一端与供气管路连通，供气管路具有与气体分离管路连接的连接处，供气管路上于上述连接处的上游设有第六开关阀，供气管路上于中间管路的上游、上述连接处的下游之间设置有第七开关阀。

2.根据权利要求1所述的一种混合气体实验用气路，其特征在于：所述气体分离装置为低温精馏装置。

3.根据权利要求1所述的一种混合气体实验用气路，其特征在于：第一气瓶、第二气瓶通过三通接头与相应的储气罐进气管路连通，各气瓶的出口设有气瓶开关阀，储气罐进气管路上于三通接头的另外两端均设置有开关阀。

4.根据权利要求1所述的一种混合气体实验用气路，其特征在于：所述气体分离管路上于气体分离装置的上游设有用于将混合气体实验装置内和/或储气罐中的混合气体进行分离前收集的集气罐。

5.根据权利要求1所述的一种混合气体实验用气路，其特征在于：各所述分离气体存气罐与气体分离装置之间均设置有气体分离压缩机。