[发明专利]一种氖气回收提纯的方法及装置

权利要求书

1.一种氖气回收提纯方法，其特征在于，步骤为：

——将氖工业尾气进行过滤去除颗粒杂质；

——将氖工业尾气进行压缩；

——将压缩的氖工业尾气通过吸附剂进行一级吸附纯化；

——吸附纯化后的氖工业尾气进行冷却至-270℃至-200℃，然后在-203℃温度下进行闪蒸；获得低温氖气；

——低温氖气通过第二吸附剂进行二级吸附纯化，获得纯氖气。

2.根据权利要求1所述的氖气回收提纯方法，其特征在于，所述压缩的氖工业尾气在进行一级吸附纯化之前，还进行一级冷却至30℃以下。

3.根据权利要求2所述的氖气回收提纯方法，其特征在于，所述压缩的氖工业尾气在进行一级冷却之前还进行化学反应纯化，用于脱除氟、氧、氮气体或它们化合物中的至少一种或几种。

4.根据权利要求1所述的氖气回收提纯方法，其特征在于，用分子筛进行所述一级吸附纯化，以去除二氧化碳、水、碳氢化合物中的至少一种或几种。

5.根据权利要求1所述的氖气回收提纯方法，其特征在于，所述一级吸附、二级吸附分别独立地采用并联的至少两个吸附设备实施，和/或

所述闪蒸采用并联的至少两个闪蒸设备实施。

6.一种氖气回收提纯装置，其特征在于，包括：

——收集罐，用于氖工业废气的收集；

——过滤设备，用于对氖工业废气中的颗粒杂质进行过滤；

——压缩机，对过滤后的氖工业废气进行压缩；其中，所述过滤设备独立设置，气体管道从收集罐出口依次连接过滤设备和压缩机；或者，过滤设备集成于所述收集罐内气体流路中，收集罐气体出口连接所述压缩机；

——化学反应器，压缩机出口通过气体管道连接至所述化学反应器，所述化学反应器内优选为设置有反应床，用于放置化学反应试剂；

——一级冷却设备，包括气体流动通道和包围在所述气体流动通道外的制冷单元，所述制冷单元是制冷片或冷却剂流动管道；化学反应器气体出口连接至所述一级冷却设备的气体流动通道入口；

——一级吸附纯化设备，包括气体入口管道、气体出口管道、以及连通所述气体入口管道和气体出口管道的吸附剂容纳腔，一级冷却设备气体流动通道出口连接至所述一级吸附纯化设备的气体入口管道；

——二级冷却设备，包括气体流动通道和包围在所述气体流动通道外的制冷单元，所述制冷单元是制冷片或冷却剂流动通道；一级吸附纯化设备气体出口管道连接至所述二级冷却设备的气体流动通道入口；

——闪蒸设备，通过气体管道连通所述二级冷却设备的出口；

——二级吸附纯化设备，包括气体入口管道、气体出口管道、以及连通所述气体入口管道和气体出口管道的吸附剂容纳腔，闪蒸设备气体出口连接至所述二级吸附纯化设备的气体入口管道。

7.根据权利要求6所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，还包括壳体，所述二级冷却设备与所述闪蒸设备置于所述壳体内。

8.根据权利要求7所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述壳体内设有液体流动通道夹层作为冷却剂流动通道，闪蒸设备废液出口连接至所述液体流动通道夹层。

9.根据权利要求6所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所 述一级吸附纯化设备、二级吸附纯化设备分别独立地为并联排布的至少两个；和/或

所述闪蒸设备为并联排布的至少两个。

10.根据权利要求6所述的氖气回收提纯装置，其特征在于，所述二级吸附纯化设备出口管道通过二级冷却设备、并与所述二级冷却设备的气体流动通道入口换热。