[发明专利]一种薄膜器件产业化生产可行性参数获取方法和装置

权利要求书

1.一种薄膜器件产业化生产可行性参数获取方法，其特征在于，包括：

获得材料片的性能参数的测量值；

根据所述性能参数的测量值确定所述材料片的均匀性参数；

其中，所述材料片用于形成所述薄膜器件，所述均匀性参数反应所述薄膜器件的性能指标；

所述均匀性参数包括：片内均匀性、片间均匀性、批间均匀性、制程维护间均匀性、设备间均匀性和整体均匀性中的至少一种；

其中，所述整体均匀性为所述片内均匀性、所述片间均匀性、所述批间均匀性、所述制程维护间均匀性和所述设备间均匀性中的至少两个的乘积；

所述片内均匀性的计算公式为：A＝[1-(Max1-Min1)/(Max1+Min1)]*100％；

其中，A表示片内均匀性，Max1为对一片材料片测量得到的同一性能参数的最大值，Min1为对所述材料片测量得到的同一性能参数的最小值；

所述片间均匀性的计算公式如下：B＝[1-(Max2-Min2)/(Max2+Min2)]*100％；

其中，B表示片间均匀性，Max2为对一批材料片中随机抽取的m1片材料片测量得到的同一性能参数的最大值，Min2对所述m1片材料片测量得到的同一性能参数的最小值，m1为大于等于1的整数；

所述批间均匀性的计算公式如下：C＝[1-(Max3-Min3)/(Max3+Min3)]*100％；

其中，C表示批间均匀性，Max3为对至少两批材料片中测量得到的同一性能参数的最大值，Min3对所述至少两批材料片测量得到的同一性能参数的最小值；

所述制程维护间均匀性的计算公式如下：

D＝[1-(Max4-Min4)/(Max4+Min4)]*100％；

其中，D表示制程维护间均匀性，Max4为随机抽取生产设备维护前和维护后生产的两个批次的材料片，测量所述两个批次的材料片得到的同一性能参数的最大值，Min4为测量所述两个批次的材料片测量得到的同一性能参数的最小值；

所述设备间均匀性的计算公式如下：

E＝[1-(Max5-Min5)/(Max5+Min5)]*100％；

其中，E表示设备间均匀性，Max5为抽取至少两台/套生产设备，随机选取所述至少两台/套生产设备中每台/套生产设备生产的一批材料片，测量选取的各批材料片得到的同一性能参数的最大值，Min5对测量所述各批材料片得到的同一性能参数的最小值。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获得材料片的性能参数的测量值，包括：

随机抽取n批材料片；

从每批中选取m片材料片；

随机测量所述m片中每片材料片上的k个点得到同一种性能参数的测量值；

其中，n、m和k均为大于等于1的整数。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述材料片的性能参数包括：所述材料片的膜厚、薄膜翘曲度及内部应力、透射率、反射率、折射率、掺杂浓度、刻蚀深度、线宽和导电性中的至少一种。

4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，根据所述性能参数的测量值确定所述材料片的均匀性参数之后，还包括：

判断所述均匀性参数是否满足预设指标。

5.一种薄膜器件产业化生产可行性参数获取装置，其特征在于，包括：

性能参数值获取单元，用于获得材料片的性能参数的测量值；

均匀性参数确定单元，用于根据所述性能参数的测量值确定所述材料片的均匀性参数；

其中，所述材料片用于形成所述薄膜器件，所述均匀性参数反应所述薄膜器件的性能指标；

所述均匀性参数包括：片内均匀性、片间均匀性、批间均匀性、制程维护间均匀性、设备间均匀性和整体均匀性中的至少一种；

其中，所述整体均匀性为所述片内均匀性、所述片间均匀性、所述批间均匀性、所述制程维护间均匀性和所述设备间均匀性中的至少两个的乘积；

所述片内均匀性的计算公式为：A＝[1-(Max1-Min1)/(Max1+Min1)]*100％；

其中，A表示片内均匀性，Max1为对一片材料片测量得到的同一性能参数的最大值，Min1为对所述材料片测量得到的同一性能参数的最小值；

所述片间均匀性的计算公式如下：B＝[1-(Max2-Min2)/(Max2+Min2)]*100％；

其中，B表示片间均匀性，Max2为对一批材料片中随机抽取的m1片材料片测量得到的同一性能参数的最大值，Min2对所述m1片材料片测量得到的同一性能参数的最小值，m1为大于等于1的整数；

所述批间均匀性的计算公式如下：C＝[1-(Max3-Min3)/(Max3+Min3)]*100％；

其中，C表示批间均匀性，Max3为对至少两批材料片中测量得到的同一性能参数的最大值，Min3对所述至少两批材料片测量得到的同一性能参数的最小值；

所述制程维护间均匀性的计算公式如下：

D＝[1-(Max4-Min4)/(Max4+Min4)]*100％；

其中，D表示制程维护间均匀性，Max4为随机抽取生产设备维护前和维护后生产的两个批次的材料片，测量所述两个批次的材料片得到的同一性能参数的最大值，Min4为测量所述两个批次的材料片测量得到的同一性能参数的最小值；

所述设备间均匀性的计算公式如下：

E＝[1-(Max5-Min5)/(Max5+Min5)]*100％；

其中，E表示设备间均匀性，Max5为抽取至少两台/套生产设备，随机选取所述至少两台/套生产设备中每台/套生产设备生产的一批材料片，测量选取的各批材料片得到的同一性能参数的最大值，Min5对测量所述各批材料片得到的同一性能参数的最小值。