[发明专利]减压干燥装置和方法

说明书

本发明的减压干燥方法包括步骤：将待处理对象装载到干燥室；关闭干燥室；将干燥气体提供到干燥室，同时通过低于大气压的第一减压压力第一次将干燥室内部排气和减压；当清洗溶液完全被凝结在待处理对象表面的干燥气体替代时，停止提供干燥气体；第二次将干燥室的内部排气和减压；停止第二次排气和减压步骤，并将空气或惰性气体提供到干燥室；从干燥室卸载待处理对象。

技术领域

本发明涉及一种减压干燥装置和方法，用于在制造LCD玻璃基板或半导体晶圆的过程中清洁和干燥待处理对象(诸如掩模)。

背景技术

随着先进的信息社会行业的快速发展，信息的高速传输能够与文本、声音、图片之类的信息相互作用，而不受时间和地点的限制。

信息传输的媒介已经演变为CRT的起点，并且CRT被诸如LCD、PDP、LED、UHD、OLED等的大型平板显示器(其能够满足这种高功能和高速的移动通信终端)和诸如PDA和网络平板(Web Pads)的小显示器快速地取代。显示器市场由于便利性而根据需求的大幅增长而持续发展。

在平板显示器的高质量和低功耗的基础上，各种应用市场变得更加活跃，并且，尤其，OLED(有机发光二极管)已经作为在LCD和PDP之后的下一代显示器而被强调。

在伊士曼柯达(Eastman Kodak)的Tang首次开发出能够高亮度发光的多层有机材料之后，OLED已经在技术上发展至今。

由于OLED具有在亮度、对比度、响应时间、色域、能见度等方面出色的图像质量以及简单的制造工艺的一些优点，OLED已经被视为理想的显示器。

然而，由于生命周期短，产量低等，OLED商业化受挫，并且由于与LCD相关的技术已经取得了快速进展，使得对市场进入的要求变得相当窄，因此商业化被延迟。

近年来，随着全球显示器行业解决了技术问题的重要部分，韩国、日本和台湾的一些制造商开始批量生产。

OLED是自发光显示设备，其中，通过阴极和阳极注入有机层的空穴和电子重组形成辐射激发态或激发子，并且当激发子返回到稳定状态时产生的能量变为光。

OLED最简单的结构由用于注入电子的阴极、用于注入空穴的阳极和用于发光的有机层组成。OLED还包括用于辅助注入和输送电子和空穴的功能层，以便重组载体并提高发光性能。

用于形成有机层的技术包括使用掩模的沉积技术，诸如精细金属掩模(FMM)、使用激光的图案化技术、使用液体基油墨材料的印刷技术等。

在上述技术中，由于在选择性地掩蔽基板的处理中有机物质沉积在掩模的表面，因此使用掩模的沉积技术在每到设定数量的处理时需要冲洗或清洁掩模的关键处理。

掩模通常浸入清洗溶液中，诸如去离子水(DIW)，或通过喷洒清洗溶液的空间，以便清洁掩模。

然而，在前者的情况下，存在由于清洗溶液在表面上过量存在而在掩模的表面上形成水渍的问题。因此，需要在除去清洗溶液的同时干燥掩模的处理。

根据常规的干燥方法，将待处理对象浸入装有液化异丙醇(IPA)的容器中，使得存在于表面上的DIW溶解在溶剂中。此后，将待处理对象从容器中取出，通过使用空气刀或类似物使存在于表面的溶剂在大气中蒸发，或者将IPA凝结在待处理对象的表面，使得清洗溶液溶解于溶剂中，然后，使现有的溶剂蒸发，从而将其干燥。

参照图1，现将描述干燥处理的一个典型示例。

IPA在大气压下通过加热器4煮沸，以在室3中产生饱和IPA蒸汽2。IPA在大气压下的沸点为82.5℃。

处于室温的待处理对象1(例如，掩模)暴露在饱和IPA蒸汽2中。

由于温差，IPA蒸汽凝结在待处理对象的表面，从而形成IPA膜。