[发明专利]连续性工艺的趋势变量鉴定方法与系统有效

申请号：	201710078716.7	申请日：	2017-02-14
公开（公告）号：	CN108090241B	公开（公告）日：	2021-08-17
发明（设计）人：	夏启峻;叶峻宾;陈立杰;庄雅筑	申请（专利权）人：	财团法人工业技术研究院
主分类号：	G06F30/20	分类号：	G06F30/20;G06Q10/06;G06Q50/04
代理公司：	北京市柳沈律师事务所 11105	代理人：	王珊珊
地址：	中国台***	国省代码：	台湾;71
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摘要：
搜索关键词：	连续性工艺趋势变量鉴定方法系统
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【说明书】：

连续性工艺的趋势变量鉴定方法及系统。连续性工艺的趋势变量鉴定方法包括以下步骤：在时间序列选择出数个相似时段。各个相似时段与一目前时段相似。依据此些相似时段的数个工艺变量的数个时序变量参数及一监控目标的时序目标参数，分析各个工艺变量对监控目标的一贡献度。依据各个贡献度，筛选出部分的工艺变量。

技术领域

本公开涉及一种连续性工艺的趋势变量鉴定方法与系统。

背景技术

在连续性工艺中，可能会不断地对某一目标参数进行预测。当预测到此目标参数可能会发生异常时，则进行工艺参数的调整，以使连续性工艺能够正常营运，避免连续性工艺断然停止。

除了提高目标参数的预测的精准度以外，如何进行工艺参数的调整，也是一项相当重要的研发方向。如果未能迅速得知哪些工艺参数应该进行调整，恐怕难以顺利维持连续性工艺的正常营运。

发明内容

本公开有关于一种连续性工艺的趋势变量鉴定方法与系统。

根据本公开的一实施例，提出一种连续性工艺的趋势变量鉴定方法。连续性工艺的趋势变量鉴定方法包括以下步骤：提取数个工艺变量于一时间序列上的数笔时序变量参数及一监控目标于时间序列上的数笔时序目标参数。在时间序列选择出数个相似时段。各个相似时段与一目前时段相似。依据此些相似时段的此些时序变量参数及此些时序目标参数，分析各个工艺变量对监控目标的一贡献度。依据各个贡献度，筛选出部分的工艺变量。

根据本公开的一实施例，提出一种连续性工艺的趋势变量鉴定系统。连续性工艺的趋势变量鉴定系统包括一工艺数据库、一监控数据库、一参数提取单元、一区域建模挑选单元、一变量鉴定单元及一评估单元。工艺数据库用以存储数个工艺变量于一时间序列上的数笔时序变量参数。监控数据库用以存储一监控目标于时间序列上的数笔时序目标参数。参数提取单元用以提取此些时序变量参数及此些时序目标参数。区域建模挑选单元用以于时间序列选择出数个相似时段。各个相似时段与一目前时段相似。变量鉴定单元用以依据此些相似时段的此些时序变量参数及此些时序目标参数，分析各个工艺变量对监控目标的一贡献度。评估单元用以依据各个贡献度，筛选出部分的此些工艺变量。

为了对本公开的上述及其他方面有更佳的了解，下文特举优选实施例，并配合附图，作详细说明如下：

附图说明

图1绘示一连续性工艺工厂的示意图。

图2绘示连续性工艺的趋势变量鉴定系统的示意图。

图3绘示本实施例的连续性工艺的趋势变量鉴定方法的流程图。

图4绘示一连续性工艺数据。

图5绘示训练数据的示意图。

图6绘示步骤S131的示意图。

图7绘示步骤S132的示意图。

图8绘示步骤S131的结果图。

图9绘示步骤S132的结果图

图10绘示对重建训练数据数量为350的变异解释力曲线。