[发明专利]一种在线非接触测厚设备及其测量方法

说明书

本发明涉及检测技术领域，尤其是指一种在线非接触测厚设备，包括中心控制台和设置于中心控制台一旁的设备机架，所述设备机架上设置有导料组件、测量组件以及用于支撑测量组件的横梁顶块，所述测量组件滑动设于横梁顶块，所述测量组件包括磁场传感器、光发射器及CCD传感器；所述导料组件包括设置于测量组件下方的主动辊轮和从动辊轮；所述磁场传感器设于主动辊轮的正上方；所述光发射器和CCD传感器分别位于主动辊轮的两侧并朝向磁场传感器正对在主动辊轮的位置上。本发明通过磁场传感器和光学测微仪相结合的测量方式，能够有效减少外界因素对测量的影响，同时能对更大面积的非磁性薄膜类进行高精度测量。

技术领域

本发明涉及锂电池极片、铜箔、铝箔等非磁性薄膜类材料检测技术领域，尤其是指一种在线非接触测厚设备及其测量方法。

背景技术

随着人类社会生产生活和科学实践活动的不断深入，锂电池极片、铜箔、铝箔等非磁性薄膜类材料的应用越来越广，已成为电力、电子、信息、军工、核、航 空、航天等产业不可缺少的关键材料之一。对于生产出来的非磁性薄膜类材料，在其诸多性能要求中，非磁性薄膜类材料的厚度、均匀度是最较为关键的参数，直接影响生产成本和应用效果，也会影响其它很多问题，因此，监测、控制薄膜的厚度、均匀度已成为非磁性薄膜类材料生产中重要的、不可或缺的环节。

然而在生产过程中，需要对非磁性薄膜类材料进行检测；有些是直接通过手持测量表或卡尺在停机后对非磁性薄膜类材料的厚度进行检测，操作麻烦，效率低，而且由于为接触性测量，易对材料表面造成损伤；也有些采用激光三角测量法，其的测厚模块由两个激光位移传感器上下对射的方式组成的，上下的两个传感器分别测量被测体上表面的位置和下表面的位置，通过计算得到被测体的厚度，由于被测薄片不是绝对的平面，当激光如果从非平面反射时，就会造成测量误差，且激光最小光斑为2μm，所以测量误差最少大于2μm。

发明内容

本发明针对现有技术的问题提供一种结构简单、紧凑和运作稳定可靠，并且测量精度能够达到±0.5μm的在线非接触测厚设备及其测量方法。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

本发明提供的一种在线非接触测厚设备，包括中心控制台和设置于中心控制台一旁的设备机架，所述设备机架上设置有导料组件、测量组件以及用于支撑测量组件的横梁顶块，所述测量组件滑动设于横梁顶块，所述测量组件包括磁场传感器、光发射器及CCD传感器；所述导料组件包括设置于测量组件下方的主动辊轮和从动辊轮；所述磁场传感器设于主动辊轮的正上方；所述光发射器和CCD传感器分别位于主动辊轮的两侧。

其中的，所述主动辊轮为磁性背轮。

其中的，所述横梁顶块设置有用于驱动测量组件沿着横梁顶块往复移动的位移驱动机构。

作为优选的，所述测量组件还包括移动座和测量仪安装架；所述磁场传感器设置在所述测量仪安装架的中部；所述移动座设有第一滑块和与第一滑块配合使用的第一导轨，所述第一滑轨固定连接于横梁顶块；所述移动座的两侧均设置有第二导轨、与第二导轨配合使用的第二滑块及驱动测量仪安装架升降的升降驱动机构，所述测量仪安装架固定连接于第二滑块。

作为优选的，所述位移驱动机构包括分别设有横梁顶块两端的主动轮和从动轮、绕设于主动轮和从动轮的传动皮带及与主动轮连接的驱动电机，所述传动皮带与移动座连接。

作为优选的，所述横梁顶块材质为大理石。

其中的，所述设备机架设有第一支撑座，所述主动辊轮的两端连接于第一支撑座并位于测量组件的下方，所述设备机架设有用于驱动主动辊轮的第一驱动机构；所述从动辊轮滑动设于所述第一支撑座，所述第一支撑座设置有用于驱动从动辊轮靠近或远离主动辊轮的第二驱动机构。