[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，该加工装置包含：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；以及加工构件，其对该卡盘工作台所保持的被加工物实施加工，该加工装置的特征在于，

该加工构件具有：

主轴；

主轴外壳，其将该主轴支承为能够旋转，并且该主轴外壳具有空气提供路、与该空气提供路连接的空气提供口、排气路以及与该排气路连接的排气口，

空气轴承，在该主轴与该主轴外壳之间划分出该空气轴承，该空气轴承与该空气提供路和该排气路连通而利用高压空气对该主轴进行支承；

工具，其安装在该主轴的前端；

高压空气源，其对多个装置提供高压空气，即使该多个装置中消耗的高压空气的量发生稍许变化也维持大致恒定的压力；

空气提供路径，其将该高压空气源与该空气提供口连接；

压力计，其配设在该空气提供路径上；以及

流量计，其配设在该空气提供路径上，

对该压力计检测出的压力值设定第1容许值，该第1容许值是以具有规定的容许范围的方式预先设定的，对该流量计检测出的流量值设定第2容许值，该第2容许值是以具有规定的容许范围的方式预先设定的，

将该压力计检测出的压力值直接与该第1容许值进行比较并且将该流量计检测出的流量值直接与该第2容许值进行比较，当该压力计检测出的压力值维持落在该第1容许值内的状态的情况下，判断为压力不存在异常，当该流量计检测出的流量值维持落在该第2容许值内的状态的情况下，判断为流量不存在异常，当该压力计检测出的压力值脱离该第1容许值或该流量计检测出的流量值脱离该第2容许值的情况下，对操作者进行警告，

当该压力计检测出的压力值维持落在该第1容许值内的状态、该流量计检测出的流量值低于该第2容许值的情况下，警告在该空气提供路或该排气路上产生了异物的堵塞。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

当该压力计检测出的压力值维持落在该第1容许值内的状态、该流量计检测出的流量值高于第2容许值的情况下，警告在该空气提供路或该排气路上产生了空气泄漏。

3.一种加工装置，该加工装置包含：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；以及加工构件，其对该卡盘工作台所保持的被加工物实施加工，该加工装置的特征在于，

该加工构件具有：

主轴；

主轴外壳，其将该主轴支承为能够旋转，并且该主轴外壳具有空气提供路、与该空气提供路连接的空气提供口、排气路以及与该排气路连接的排气口，

空气轴承，在该主轴与该主轴外壳之间划分出该空气轴承，该空气轴承与该空气提供路和该排气路连通而利用高压空气对该主轴进行支承；

工具，其安装在该主轴的前端；

高压空气源，其对多个装置提供高压空气，即使该多个装置中消耗的高压空气的量发生稍许变化也维持大致恒定的压力；

空气提供路径，其将该高压空气源与该空气提供口连接；

压力计，其配设在该空气提供路径上；以及

流量计，其配设在该空气提供路径上，

对该压力计检测出的压力值设定第1容许值，该第1容许值是以具有规定的容许范围的方式预先设定的，对该流量计检测出的流量值设定第2容许值，该第2容许值是以具有规定的容许范围的方式预先设定的，

将该压力计检测出的压力值直接与该第1容许值进行比较并且将该流量计检测出的流量值直接与该第2容许值进行比较，当该压力计检测出的压力值维持落在该第1容许值内的状态的情况下，判断为压力不存在异常，当该流量计检测出的流量值维持落在该第2容许值内的状态的情况下，判断为流量不存在异常，当该压力计检测出的压力值脱离该第1容许值或该流量计检测出的流量值脱离该第2容许值的情况下，对操作者进行警告，

当该压力计检测出的压力值维持落在该第1容许值内的状态、该流量计检测出的流量值高于该第2容许值的情况下，警告在该空气提供路或该排气路上产生了空气泄漏。