[发明专利]准分子激光退火工序用激光束调节模块

权利要求书

1.一种准分子激光退火工序用激光束调节模块，用于调节向基板照射的激光束的长度，其特征在于，

包括：

激光束切割机，与上述激光束的移动方向垂直地配置，通过屏蔽上述激光束的至少一部分来调节上述激光束的长度，在内部设有包括制冷剂的冷却单元，来抑制当调节激光束的长度时所发生的激光束切割机的温度上升，由此确保激光束的均匀度，防止基板的斑点现象；

制冷剂供给部，形成于上述激光束切割机的一侧，用于向上述冷却单元的内部循环供给制冷剂；

检测部，用于检测上述冷却单元的温度；以及

控制部，根据通过上述检测部检测的上述冷却单元的温度来控制在上述制冷剂供给部循环供给的制冷剂的温度及流量，

上述冷却单元构成为使上述制冷剂在内部移动的冷却流路，

上述冷却流路中，在上述激光束切割机的一侧形成有制冷剂引入口和制冷剂引出口，上述冷却流路与上述制冷剂供给部相连接。

2.根据权利要求1所述的准分子激光退火工序用激光束调节模块，其特征在于，上述冷却流路形成为与上述激光束切割机的长度方向平行的U字管形态。

3.根据权利要求2所述的准分子激光退火工序用激光束调节模块，其特征在于，在上述冷却流路的内部还形成有金属材质的散热板。

4.根据权利要求3所述的准分子激光退火工序用激光束调节模块，其特征在于，在上述散热板中，相对于制冷剂的流动方向排列有多个散热孔。

5.根据权利要求4所述的准分子激光退火工序用激光束调节模块，其特征在于，在上述散热孔中与制冷剂的流动方向垂直地排列形成有与制冷剂的流动方向平行的多个散热片。

6.根据权利要求3所述的准分子激光退火工序用激光束调节模块，其特征在于，上述散热板以之字型弯曲而成。