[发明专利]一种曝光显影工艺在审
申请号: | 201710081126.X | 申请日: | 2017-02-15 |
公开(公告)号: | CN106707688A | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
发明(设计)人: | 周群飞;饶桥兵;李隆东 | 申请(专利权)人: | 蓝思科技(长沙)有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/40 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 410311 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 显影 工艺 | ||
技术领域
本发明涉及曝光显影技术领域,尤其涉及一种曝光显影工艺。
背景技术
曝光显影工艺是3D镜片产品装饰选用的一种后制程装饰方案。在玻璃、有机玻璃、蓝宝石与注塑件等3D产品(如前盖、嵌件、装饰件等)加工工艺过程中,都会涉及到曝光显影工艺,此方法可适用于多种多厚度多曲面要求的3D产品装饰。
随着市场对3D镜片产品的需求,曝光显影工艺的要求越来越高。现有曝光显影工艺的方案为一涂一曝一显,具体的,曝光显影工艺依次为:清洗1→涂布1→预烤1→曝光1→显影1→固烤1→清洗2→涂布2→预烤2→曝光2→显影2→固烤2;上述曝光显影方法工艺流程长,人力、物力需求大,设备投入大,还易造成产品不良率增加,因此现有技术还有待改进和发展。
发明内容
本发明解决的技术问题在于提供一种曝光显影工艺,本申请提供的曝光显影工艺流程简单,且提升了制程良率。
有鉴于此,本申请提供了一种曝光显影工艺,包括以下步骤:
A),将基板进行清洗,在清洗后的基板表面涂布感光材料;
B),将涂布后的基板进行预烤,在预烤后的基板表面再次涂布感光材料;
C),将步骤B)得到的基板再次进行预烤,将预烤后的基板依次进行曝光与显影;
D),将步骤C)得到的基板进行固烤。
优选的,所述基板为黑色玻璃盖板、白色玻璃盖板或彩色玻璃盖板。
优选的,清洗后所述基板表面的水滴角<32°。
优选的,步骤A)中,所述感光材料的厚度小于20μm;步骤B)中,所述感光材料的厚度小于20μm。
优选的,步骤B)中,所述预烤的温度为50~120℃,时间为2~10min;步骤C)中,所述预烤的温度为50~120℃,时间为2~10min。
优选的,所述曝光的光源为紫外光,所述紫外光的曝光能量为100~3000mJ。
优选的,所述显影液为氢氧化钾溶液或碳酸钠溶液,所述显影液的浓度为0.2wt%~2wt%。
优选的,所述固烤的温度为120~200℃,时间为20~50min。
本申请提供了一种曝光显影工艺,其具体工艺流程为:清洗-涂布-预烤-涂布-预烤-显影-固烤;相比于现有工艺流程,其减少了一次曝光、一次显影、一次固烤与一次清洗上述四个步骤,则减少了工艺流程,提高了生产效率,且提高了制程良率。实验结果表明,本申请的曝光显影工艺针对白色玻璃盖板的曝光显影,良率可达92%以上,砂眼率低于3.2%,透光率低于2.6%,牙缺率低于1.4%。
具体实施方式
为了进一步理解本发明,下面结合实施例对本发明优选实施方案进行描述,但是应当理解,这些描述只是为进一步说明本发明的特征和优点,而不是对本发明权利要求的限制。
本发明实施例公开了一种曝光显影工艺,包括以下步骤:
A),将基板进行清洗,在清洗后的基板表面涂布感光材料;
B),将涂布后的基板进行预烤,在预烤后的基板表面再次涂布感光材料;
C),将步骤B)得到的基板再次进行预烤,将预烤后的基板依次进行曝光与显影;
D),将步骤C)得到的基板进行固烤。
本申请提供了一种曝光显影工艺,其具体流程为:清洗-涂布-预烤-涂布-预烤-曝光-显影-固烤,上述曝光显影工艺缩短了工艺流程,提高了生产效率,但提升了制程良率。
本申请所述曝光显影工艺针对的是目前需要进行曝光显影的所有工艺过程。在曝光显影过程中,本申请首先将基板进行清洗,以保证后续曝光显影效果。所述基板为本领域技术人员熟知的材料,对此本申请没有特别的限制,示例的,所述基板可以为白色玻璃盖板,也可以为黑色玻璃盖板。所述清洗的工艺本申请没有特别的限制,按照传统的清洗工艺及参数进行即可。为了保证后续涂布以及曝光显影的效果,清洗后的基板表面水滴角优选小于32°,在具体实施例中,所述水滴角为20~30°。
按照本发明,基板清洗后则在基板表面涂布感光材料。所述涂布工艺为本领域技术人员熟知的涂布工艺,可以采用ink jet、喷涂、旋涂或其它涂布工艺,对此本申请没有特别的限制。所述感光材料本申请没有特别的限制,为本领域熟知的感光材料,在某些实施例中,所述感光材料为白色感光材料、黑色感光材料或彩色感光材料,更具体的,所述感光材料为市售的335-6010黑色感光材料、市售的11白色感光材料或市售的335-6008彩色感光材料。在涂布过程中,感光材料在基板表面的厚度应小于20μm,在某些具体实施例中,所述厚度为10~20μm。
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