[发明专利]一种电子源产生装置及电子束控制方法

权利要求书

1.一种电子源产生装置，其特征在于，所述装置包括：电子枪、电极、光阑组和电磁透镜；其中，

所述电子枪，用于发射电子束；

所述电极，用于对所述电子束进行加速；

所述光阑组包括一个移动装置和多个不同孔径的光阑，通过调节所述移动装置控制加速后的电子束经过所述光阑组中的一个光阑；

所述电磁透镜，用于对经过所述光阑的电子束进行会聚，形成电子源；

所述电磁透镜产生的会聚磁场覆盖所述电子枪及所述光阑组，且所述光阑组位于所述会聚磁场分布的中心位置。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电极包括吸取极和阳极。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述移动装置包括：第一马达和第二马达；其中，

所述第一马达用于控制所述光阑在X方向移动，所述第二马达用于控制所述光阑在Y方向移动。

4.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述多个不同孔径的光阑为至少一列多个不同孔径的光阑。

5.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述电磁透镜为电流激励的透镜，通过调节激励电流的大小改变所述电磁透镜的聚焦强度。

6.一种电子束控制方法，其特征在于，所述方法包括：

电子枪发射的电子束经电极进行加速；

控制所述加速后的电子束通过光阑组的多个不同孔径光阑中的一个光阑；

利用电磁透镜对经过所述光阑组的电子束进行会聚；其中，

所述电磁透镜产生的会聚磁场覆盖所述电子枪及所述光阑组，且所述光阑组位于所述会聚磁场分布的中心位置。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述光阑组还包括移动装置，所述控制所述加速后的电子束通过光阑组的多个不同孔径光阑中的一个光阑，包括：

控制所述移动装置沿X方向和Y方向移动，使得所述加速后的电子束经过所述光阑组的一个光阑。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述多个不同孔径光阑为至少一列多个不同孔径的光阑。

9.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述利用电磁透镜对经过所述光阑组的电子束进行会聚，包括：

调节所述电磁透镜的激励电流大小以改变所述电磁透镜的聚焦强度；

经过所述光阑组的电子束经过具有该聚焦强度的电磁透镜会聚后形成电子束。