[发明专利]用金属或陶瓷材料硬化的图案

权利要求书

1.一种图案化结构，其包括：

i.基片，

ii.位于该基片顶部的第一层，其包括填充材料和引导材料，其中至少该第一层的顶表面包括一个或多个填充材料区域和一个或多个引导材料区域，以及

iii.位于该第一层顶部的第二层，其包括第一材料的图案，该图案与下层的一个或多个引导材料区域对齐或不对齐；

其中该第一材料包含金属或陶瓷材料，其中该引导材料和填充材料都包含该金属或陶瓷材料。

2.如权利要求1所述的图案化结构，其特征在于，所述第一材料的图案包括平行线条，其中该第二层包括与其他材料的平行线条和/或与空隙交替的这些平行线条。

3.如权利要求2所述的图案化结构，其特征在于，所述第一材料的图案包括第一部分自组装材料，且如存在，该其他材料包括第二部分自组装材料。

4.如权利要求3所述的图案化结构，其特征在于，所述自组装材料是嵌段共聚物，其中该第一部分是该嵌段共聚物的一种嵌段，其中该第二部分是该嵌段共聚物的另一种嵌段。

5.如权利要求3所述的图案化结构，其特征在于，存在所述其他材料(320)，其中若该图案与下层的一个或多个引导材料区域对齐，则该引导材料对第一部分自组装材料的浸润亲和性大于对第二部分自组装材料的浸润亲和性，其中若该图案不与下层的一个或多个引导材料区域对齐，则该引导材料对第一部分自组装材料的浸润亲和性小于对第二部分自组装材料的浸润亲和性。

6.如权利要求5所述的图案化结构，其特征在于，所述图案与下层的一个或多个引导材料区域对齐，其中该引导材料和第一部分自组装材料包含相同的材料或该相同材料的衍生物。

7.如权利要求3所述的图案化结构，其特征在于，若该图案与下层的一个或多个引导材料区域对齐，则该第一材料对该引导材料的亲和性大于对该填充材料的亲和性，其中若该图案不与下层的一个或多个引导材料区域对齐，则该第一材料对该填充材料的亲和性大于对该引导材料的亲和性。

8.如权利要求7所述的图案化结构，其特征在于，存在所述其他材料，其中若该图案与下层的一个或多个引导材料区域对齐，则该其他材料对该填充材料的亲和性大于对该引导材料的亲和性，其中若该图案不与下层的一个或多个引导材料区域对齐，则该其他材料对该引导材料的亲和性大于对该填充材料的亲和性。

9.如权利要求7所述的图案化结构，其特征在于，所述填充材料对该第一材料的浸润亲和性大于对该其他材料的浸润亲和性。

10.如权利要求7所述的图案化结构，其特征在于，所述自组装材料是包含两种或更多种聚合单体的嵌段共聚物，其中该填充材料是两种或更多种该聚合单体的无规共聚物。

11.如权利要求4所述的图案化结构，其特征在于，所述嵌段共聚物包括苯乙烯-甲基丙烯酸甲酯嵌段共聚物(PS-b-PMMA)、苯乙烯-2-乙烯基吡啶嵌段共聚物(PS-b-P2VP)或苯乙烯-乳酸嵌段共聚物(PS-b-PLA)。

12.如权利要求4所述的图案化结构，其特征在于，所述自组装材料是PS-b-PMMA嵌段共聚物，且所述引导材料是可交联的PMMA(X-PMMA)。

13.如权利要求1所述的图案化结构，其特征在于，所述陶瓷材料是金属氧化物或金属氮化物。