[发明专利]流延装置以及溶液制膜方法

权利要求书

1.一种流延装置，具备：

行进的支撑体；

模具，朝向上述支撑体从狭缝状的出口流出掺杂剂；

挡风部件，配置于上述支撑体的行进方向上的比上述模具更靠上游的位置，并且与上述模具具有间隙地对置，遮挡与上述支撑体的行进相伴随地流动的伴随风；以及

延伸配置部件，突出地设置于上述挡风部件的与上述模具对置的对置面上的上述支撑体侧的端部，并且沿着上述出口的长边方向延伸，

上述延伸配置部件在使与上述模具之间的距离增减的方向上移动自如。

2.如权利要求1所述的流延装置，其中，

上述延伸配置部件对上述模具与上述挡风部件之间的上述间隙的上述支撑体侧的端部进行封闭。

3.如权利要求1所述的流延装置，其中，

上述延伸配置部件具有沿上述出口的长边方向延伸的多个凸部并列而成的迷宫构造，并且设置为与上述模具非接触。

4.如权利要求1至3中任一项所述的流延装置，其中，

上述延伸配置部件由氟类聚合物形成。

5.如权利要求1或者2所述的流延装置，其中，

上述挡风部件具有形成有开口并与上述支撑体对置的对置板，成为沿着上述出口的长边方向延伸的箱状，

该流延装置具备对上述挡风部件内部的气体进行吸引的吸引机构。

6.一种溶液制膜方法，具有：

使用具备行进的支撑体的流延装置，在上述支撑体上形成由上述掺杂剂构成的流延膜的步骤；

通过从上述支撑体剥取上述流延膜来形成膜的步骤；以及

对上述膜进行干燥的步骤，

上述流延装置具备：

模具，朝向上述支撑体从狭缝状的出口流出掺杂剂；

挡风部件，配置于上述支撑体的行进方向上的比上述模具更靠上游的位置，并且与上述模具具有间隙地对置，遮挡与上述支撑体的行进相伴随地流动的伴随风；以及

延伸配置部件，突出地设置于上述挡风部件的与上述模具对置的对置面上的上述支撑体侧的端部，并且沿着上述出口的长边方向延伸，

上述延伸配置部件在使与上述模具之间的距离增减的方向上移动自如。