[发明专利]一种退火炉尾气回收净化的工艺及其装置

权利要求书

1.一种退火炉尾气回收净化的工艺，包括如下步骤：

(1)对退火炉尾气进行冷凝处理，收集第一尾气；

(2)对所述第一尾气进行第一过滤处理，收集第二尾气；

(3)向所述第二尾气中补充氮气，得到第三尾气；

(4)对所述第三尾气进行第二过滤处理，收集第四尾气；

(5)对所述第四尾气依次进行加热处理和脱氧处理，收集第五尾气；

(6)对所述第五尾气进行吸附处理，收集净化气。

2.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于，步骤(1)中，所述冷凝处理的温度为3-16℃。

3.根据权利要求1或2所述的工艺，其特征在于，步骤(2)中，所述第一过滤处理的过滤精度为10-50μm；

步骤(4)中，所述第二过滤处理的过滤精度为5-10μm。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的工艺，其特征在于，步骤(3)中，向所述第二尾气中补充氮气直至所述第三尾气的表压为0.5-2Kpa。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的工艺，其特征在于，步骤(5)中，所述加热处理的温度为70-120℃；

经所述脱氧处理后，所述第五尾气中氧含量＜10ppm。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的工艺，其特征在于，步骤(6)中，所述净化气中含水量的露点值≤-65℃。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的工艺，其特征在于，在所述步骤(2)之后，所述步骤(3)之前，还包括将所述第二尾气的表压稳压至0.5-2Kpa的步骤；

在所述第二过滤处理之前，还包括将所述第三尾气的表压升压至20Kpa-50Kpa的步骤；

在所述第二过滤处理之后，所述加热处理之前，还包括对所述第四尾气进行气液分离的步骤；

在所述吸附处理结束后，还包括对所述第五尾气进行氧气、氮气和露点测试的步骤；

在所述测试之后，还包括对所述净化气进行稳压，再回用至所述退火炉中的步骤。

8.权利要求1-7中任一项所述的工艺所采用的装置，其特征在于，包括依次连通的冷凝装置、第一过滤装置、第一缓冲装置、第二过滤装置、加热装置、脱氧装置和吸附装置，所述冷凝装置的进气口与所述退火炉的尾气出口连通，所述第一缓冲装置上设置有氮气补加口。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括，

第一加压装置，其进气口与所述第一过滤装置的出气口连通，其出气口与所述第一缓冲装置的进气口连通；

第二加压装置，其进气口与所述第一缓冲装置的出气口连通，其出气口与所述第二过滤装置的进气口连通；

气液分离装置，其进气口与所述第二过滤装置的出气口连通，其出气口与所述加热装置的进气口连通；

补气装置，其出气口与所述氮气补加口连通。

10.根据权利要求8或9所述的装置，其特征在于，还包括，

第二缓冲装置，其进气口与所述吸附装置的出气口连通；

稳压装置，其进气口与所述第二缓冲装置的出气口连通，其出气口与所述退火炉的进气口连通；

氧气测试仪、露点测试仪和氮气测试仪，均设置于连通所述第二缓冲装置和所述退火炉的管道上。