[发明专利]一种基于可调电容的可调谐振腔

权利要求书

1.一种基于可调电容的可调谐振腔，包括类同轴结构金属腔体、绝缘介质环、铁电薄膜、电容电极及调谐电极；其特征在于，所述类同轴结构金属腔体的顶部带有开口环，所述绝缘介质环填充入开口环处；所述铁电薄膜设置于金属腔体上方中心，且半径大于等于绝缘介质环的内半径；所述调谐电极设置于铁电薄膜上方中心；所述电容电极为环绕调谐电极设置的环形电极，且电容电极外边缘与金属腔体连接，电容电极内边缘与铁电薄膜及金属腔体形成平行电容板结构。

2.按权利要求1所述基于可调电容的可调谐振腔，其特征在于，所述电容电极的内半径小于所述类同轴结构金属腔体顶部开口环的内半径。

3.按权利要求1所述基于可调电容的可调谐振腔，其特征在于，所述调谐电极为圆形电极、其半径小于电容电极的内半径数个微米。

4.按权利要求1所述基于可调电容的可调谐振腔，其特征在于，所述电容电极厚度应大于电极所用材料的趋肤深度的3倍，以保证不出现大幅电磁损耗。

5.按权利要求1所述基于可调电容的可调谐振腔，其特征在于，所述调谐电极用于施加调谐电压。

6.按权利要求1所述基于可调电容的可调谐振腔，其特征在于，所述绝缘介质环填充入类同轴结构金属腔体的开口环处，形成一个完整的同轴腔体。