[发明专利]具有表面反型固定界面电荷的功率器件在审
| 申请号： | 201710087033.8 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN106847925A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李琦;陆诗维;李海鸥;首照宇;陈永和;杨年炯;李思敏;张法碧;高喜;傅涛 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学;广西科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/861;H01L29/06;H01L29/36 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司45107 | 代理人： | 陈跃琳 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 表面 固定 界面 电荷 功率 器件 | ||
【权利要求书】：
1.具有表面反型固定界面电荷的功率器件，该功率器件包括场氧层(4)和有源层(3)，场氧层(4)位于有源层(3)之上；其特征在于：场氧层(4)内还设有变掺杂的固定界面电荷区(12)，固定界面电荷区(12)的电荷极性与有源层(3)离子所属的极性相反；固定界面电荷区(12)在横向延伸方向上呈间断设置，每个间隔分块具有一个固定的面电荷密度，每个间隔分块的面电荷密度各不相同；固定界面电荷区(12)位于场氧层(4)的下部，并与场氧层(4)的下表面即场氧层(4)和有源层(3)的交界面相接触。
2.根据权利要求1所述具有表面反型固定界面电荷的功率器件，其特征在于：固定界面电荷区(12)的面电荷密度在横向方向上逐渐变化。
3.根据权利要求1所述具有表面反型固定界面电荷的功率器件，其特征在于：有源层(3)的材质为Si、SiC、GaAs、SiGe或GaN。
4.根据权利要求1所述具有表面反型固定界面电荷的功率器件，其特征在于：功率器件为横向功率器件。
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