[发明专利]一种复合透明电极、有机发光二极管及其制备方法

说明书

技术领域

本发明属于显示技术领域，具体涉及一种复合透明电极、有机发光二极管及其制备方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)具有轻薄、响应快、可适用柔性显示等突出的特点，是公认的平板显示和照明领域的新技术。OLED通常包括阳极和阴极，以及位于阳极和阴极之间的有机发光功能层。随着OLED技术的推进和产品的升级需求，市场对低功耗和高分辨率的要求越来越高。

由于顶发射的有源矩阵有机发光二极管(Active-matrix organic light emitting diode，AMOLED)可避免薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)的遮挡，可实现较高的开口率和亮度，即顶发射AMOLED可以降低功耗和提升分辨率，同时提高OLED的寿命，所以顶发射AMOLED是目前较优选的技术。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：顶发射AMOLED中一项关键技术是透明电极的制备，目前在中小尺寸显示产品中普遍采用的是薄金属透明电极，由于薄金属电极的阻抗较大，一旦尺寸变大就会产生压降的问题，所以薄金属电极适用于中小尺寸，此外金属电极表面通常存在等离子体产生的热效应使得发光效率降低；而大尺寸显示产品中通常选用透明导电氧化物(transparent conducting oxides，TCO)作为电极，例如氧化铟锡(Indium tin oxide，ITO)、氧化铟锌(indium zinc oxide，IZO)等，TCO的优点是透过率高，可以镀比较厚，而厚的TCO导电率比较高，不会有压降问题，但TCO一般要用溅射方式镀膜，溅射工艺过程中的高能粒子对有机发光功能层通常会有损伤，导致漏电、发光效率低、寿命低等问题。

发明内容

本发明针对现有的OLED的透明电极溅射工艺中易损伤有机发光功能层或易产生压降的问题，提供一种复合透明电极、有机发光二极管及其制备方法。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是：

一种复合透明电极，包括金属层和透明导电氧化物层，以及设于所述金属层与透明导电氧化物层之间的透明的覆盖层，所述覆盖层具有多个第一开孔，所述金属层与透明导电氧化物层通过所述第一开孔相连。

优选的是，所述覆盖层由金属氧化物构成，所述金属氧化物的介电常数ε范围为ε>10。

优选的是，所述金属氧化物包括Ga₂O₃、CaO、WO₃中的任意一种或几种。

优选的是，所述覆盖层的厚度范围为1-40nm。

优选的是，所述金属层的厚度范围为1-20nm。

优选的是，所述透明导电氧化物层的厚度范围为50-500nm。

本发明还提供一种有机发光二极管，包括第一电极和第二电极，以及设于所述第一电极与第二电极之间的有机发光功能层，所述第二电极为上述的复合透明电极，其中，所述透明导电氧化物层远离所述有机发光功能层设置。

优选的是，所述有机发光功能层包括多个子像素，相邻的子像素之间具有第二开孔，所述覆盖层覆盖所述子像素，所述第一开孔的尺寸小于或者等于所述第二开孔的尺寸。

本发明还提供一种有机发光二极管的制备方法，包括以下步骤：

形成第一电极和有机发光功能层；

在所述有机发光功能层上形成上述的复合透明电极，其中，所述透明导电氧化物层远离所述有机发光功能层设置。

优选的是，所述金属层通过蒸镀工艺形成，所述覆盖层通过蒸镀工艺形成，所述透明导电氧化物层通过溅射工艺形成。

本发明的复合透明电极在金属层与透明导电氧化物层之间设置覆盖层，其中，透明导电氧化物层作为辅助电极通过第一开孔与金属层相连，使导电度增加，减小压降；当OLED中采用该复合透明电极时，覆盖层可以减少金属层界面的等离子体效应，提高出光效率；此外，在形成透明导电氧化物层的溅射工艺中，覆盖层可以保护有机发光功能层，减少溅射工艺过程中对有机发光功能层的损伤。本发明的OLED适用于各种显示装置。

附图说明

图1为本发明的实施例1的复合透明电极的结构示意图；

图2为本发明的实施例3的有机发光二极管的结构示意图；

其中，附图标记为：1、复合透明电极；11、金属层；12、覆盖层；13、透明导电氧化物层；14、第一开孔；2、第一电极；3、有机发光功能层；31、子像素；32、第二开孔。