[发明专利]具有维护区域的装置

说明书

提供具有维护区域的装置，该装置具有即使不将壳体的罩拆下也能够进行维护的维护区域。一种具有维护区域的装置(2)，该装置(2)具有：壳体(4)；主电源开关(70)，其用于对主电源的接通和断开进行切换；维护区域，其形成在壳体内，在维护时作业者接近该维护区域；开闭门(64)，其用于对维护区域进行覆盖；面板，在使主电源开关对准接通主电源的接通位置的状态下该面板固定在壳体上，在使主电源开关对准断开主电源的断开位置的状态下该面板能够从壳体拆下；杆(74)，其一端被面板抵住；以及贯通安装部(82)，其形成在开闭门上，具有供杆的另一端侧插入的贯通孔(82a)。

技术领域

本发明涉及具有维护区域的装置，当维护时作业者接近该维护区域。

背景技术

在对半导体晶片进行加工等时使用的各种装置的壳体中收纳有各种各样的构成要素。壳体例如由形成装置的大致形状的骨架和对骨架进行覆盖的罩构成，在对内部的构成要素进行维护等时，由作业者将罩的一部分拆下(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2007-331050号公报

但是，如果在每次维护时将壳体的罩拆下，则未必能够充分地提高作业的效率。并且，在该情况下，还存在如下问题：除了用于设置装置的设置空间之外，还必须确保用于暂时保管所拆下的罩的保管空间。

发明内容

本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供一种具有维护区域的装置，该装置具有即使不将壳体的罩拆下也能够进行维护的维护区域。

根据本发明的一方式，提供具有维护区域的装置，其特征在于，该装置具有：壳体；主电源开关，其用于对主电源的接通和断开进行切换；维护区域，其形成在该壳体内，当维护时作业者接近该维护区域；开闭门，其用于对该维护区域进行覆盖；面板，在使该主电源开关对准接通该主电源的接通位置的状态下该面板固定在该壳体上，在使该主电源开关对准断开该主电源的断开位置的状态下该面板能够从该壳体拆下；杆，其一端被该面板抵住；以及贯通安装部，其形成在该开闭门上，具有供该杆的另一端侧插入的贯通孔，通过在关闭了该开闭门的状态下将该面板固定在该壳体上并对该杆的一端的位置进行限定，该杆被定位在其另一端侧插入到该贯通孔中的贯通安装位置，通过使该主电源开关对准该断开位置而将该面板从该壳体拆下，该杆被定位在其另一端侧从该贯通孔拔出的拔出位置。

在本发明的一方式的具有维护区域的装置中，由于具有对形成在壳体上的维护区域进行覆盖的开闭门，所以能够仅通过打开该开闭门而接近维护区域。也就是说，即使不将壳体的罩拆下也能够对装置进行维护。

并且，在本发明的一方式的具有维护区域的装置中，在打开开闭门时，必须使主电源开关对准断开主电源的断开位置而将面板从壳体拆下，将另一端侧插入到贯通孔中的杆定位在拔出位置，而将该杆的另一端侧从贯通孔拔出。也就是说，由于不能在接通主电源的状态下打开开闭门，所以维护时的安全性也变高。

附图说明

图1是示意性地示出废液处理装置的外观的立体图。

图2是示意性地示出收纳在壳体中的构成要素的例的图。

图3是用于对开闭门的锁定机构进行说明的局部剖视俯视图。

图4的(A)和图4的(B)是用于对安全机构进行说明的侧视图。

图5是示意性地示出开闭门的锁定被解除的状态的局部剖视俯视图。

标号说明