[发明专利]一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置

权利要求书

1.一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置，其特征在于：包括有底座(1)和方形的罩体(2)，该罩体(2)设有顶板(2a)、前侧板(2b)、左侧板(2c)、右侧板(2d)和后侧板(2e)，所述罩体(2)与底座(1)可拆卸连接，所述底座(1)上放置有旋涂仪(3)和加热装置(4)，所述旋涂仪(3)和加热装置(4)置于罩体(2)内，所述罩体(2)至少一个侧板上设置有进气孔，所述进气孔上安装有快速接头(5)，该快速接头(5)通过气管与气泵连接，所述气管上安装有电磁阀，所述罩体(2)内安装有温湿度传感器(6)，所述罩体(2)外设有控制器(7)，所述温湿度传感器(6)和电磁阀均与控制器(7)电性连接，所述罩体(2)的前侧板(2b)为透明材质，所述前侧板(2b)的上端与顶板(2a)连接，其下端与底座(1)之间设有敞开的操作窗(2g)。

2.根据权利要求1所述的一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置，其特征在于：所述底座(1)上设置有一个用于与罩体(2)的下端对接的连接座(1a)，该连接座(1a)上设置与罩体(2)下端轮廓相符的槽体(1b)。

3.根据权利要求1所述的一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置，其特征在于：所述前侧板(2b)的高度为后侧板(2e)高度的1/3～1/2。

4.根据权利要求1所述的一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置，其特征在于：所述后侧板(2e)、左侧板(2c)和右侧板(2d)上均安装有所述进气孔。

5.根据权利要求4所述的一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置，其特征在于：所述后侧板(2e)、左侧板(2c)和右侧板(2d)上均设有三个进气孔，该三个进气孔安装在同一个水平高度。

6.根据权利要求5所述的一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置，其特征在于：所述进气孔点到顶板(2a)的距离小于前侧板(2b)的高度值。

7.根据权利要求1所述的一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置，其特征在于：所述温湿度传感器(6)安装在顶板(2a)上，并设有向罩体(2)内延伸用于检测罩体(2)内温度值和湿度值的探针(6a)。

8.根据权利要求1所述的一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置，其特征在于：所述温湿度传感器(6)还包括有安装座，该安装座设有插入端(6b)和限位板(6c)，探针(6a)安装在插入端(6b)的底部，所述顶板(2a)上设有供插入端(6b)插入的插孔，在插入端(6b)上还套设有密封垫(6d)。

9.根据权利要求8所述的一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置，其特征在于：所述限位板(6c)上开设有用于安装螺丝的通孔，在顶板(2a)上位于插入孔(2f)的周边设有与限位板(6c)上通孔对应的螺纹孔。

10.根据权利要求1所述的一种构建局部清洁环境保护薄膜生长的装置，其特征在于：所述控制器(7)上设有用于显示罩体(2)内温度值和湿度值的显示器，该控制器(7)上还设置有用于控制电磁阀和气泵的开关。