[发明专利]一种利用两个声表面波谐振器分离温度影响的装置及方法

权利要求书

1.一种利用两个声表面波谐振器分离温度影响的装置，该装置包括：两个声表面波谐振器，所述的两个声表面波谐振器沿待测件的主应变方向设置于待测件上，且两个声表面波谐振器的声表面波传播方向与待测件的主应变方向相同，所述声表面波谐振器包括压电基底和设置于压电基底上的电极；其特征在于所述两个声表面波谐振器压电基底材料的切向不同，并在其中一个声表面波谐振器的压电基底上设置一层覆盖电极且使两个声表面波谐振器的转变温度相同的薄膜。

2.如权利要求1所述的一种利用两个声表面波谐振器分离温度影响的装置，其特征在于所述覆盖在其中一个声表面波谐振器上的薄膜的材料为SiO₂。

3.一种利用两个声表面波谐振器分离温度影响的方法，采用如下公式计算出待测件只对应变的频率响应：

$\mathrm{\ϵ}=\frac{\frac{f_{r01}}{a_1}-\frac{f_{r02}}{a_2}-\frac{f_{r1}}{a_1}+\frac{f_{r2}}{a_2}}{\frac{s_2}{a_2}-\frac{s_1}{a_1}}$

其中：ε表示应变频率响应，f_r1为第一声表面波谐振器的谐振频率，f_r2为第二声表面波谐振器的谐振频率；f_r1＝f_r01+a₁T+b₁T²+s₁ε，f_r2＝f_r02+a₂T+b₂T²+s₂ε，f_r01、f_r02分别为第一、第二声表面波谐振器在同一参考温度下的谐振频率，a₁和a₂为第一、第二声表面波谐振器的一阶温度频率系数，b₁和b₂分别为第一、第二声表面波谐振器的二阶温度频率系数，s₁和s₂分别为第一、第二声表面波谐振器的应变频率系数，T为温度。