[发明专利]气冷散热装置

权利要求书

1.一种气冷散热装置，用以对一电子元件散热，其特征在于，该气冷散热装置包含：

一载体，具有一第一表面、一第二表面、一泵容置槽、一第一导流腔室、一第二导流腔室、一导气端开口、一连通槽以及至少一排气槽，其中该第一表面及该第二表面是分别为该载体的上下表面，该泵容置槽凹设于该第一表面，该第一导流腔室凹设于该泵容置槽的一底面，且该导气端开口设置于该底面上，该导气端开口连通于该第一导流腔室，该第二导流腔室凹设于该第二表面上，该连通槽连通在该第一导流腔室及该第二导流腔室之间，以及该至少一排气槽连通于该第二导流腔室及该气冷散热装置之外部，该第二导流腔室罩盖容置该电子元件；以及

一气体泵，设置于该载体的该泵容置槽中，并封闭该导气端开口，该气体泵包含：

一共振片，具有一中空孔洞；

一压电致动器，与该共振片相对应设置；以及

一盖板，具有一侧壁、一底板及一开口部，该侧壁环绕该底板周缘而凸设于该底板上并与该底板形成一容置空间，且该共振片及该压电致动器设置于该容置空间中，该开口部设置于该侧壁上，其中该盖板的该底板与该共振片之间形成一第一腔室，该共振片及该盖板的该侧壁共同定义出一汇流腔室；其中借由驱动该气体泵，以将气流经由该导气端开口导入该第一导流腔室，使气流透过该连通槽导入该第二导流腔室，并对该电子元件进行热交换，且将与该电子元件进行热交换后的气流经由该至少一排气槽排出。

2.如权利要求1所述的气冷散热装置，其特征在于，该气冷散热装置更包括一承载基板，与该载体的该第二表面相连接，其中该电子元件设置于该承载基板上。

3.如权利要求1所述的气冷散热装置，其特征在于，该载体进一步设置一进气槽，该进气槽凹设于该第一表面，并连通于该泵容置槽的一侧，供气体流通并进入该气体泵中。

4.如权利要求1所述的气冷散热装置，其特征在于，该连通槽更包含相互连通的一汇流部及多个连通部，且该汇流部与该第一导流腔室相连通，该多个连通部与该第二导流腔室相连通，该汇流部包含一斜面，该斜面对应于该多个连通部而设置。

5.如权利要求4所述的气冷散热装置，其特征在于，该汇流部包含一汇流部开口，该汇流部开口连通于该导气端开口及该汇流部之间，且该汇流部开口的面积大于该汇流部底部的面积。

6.如权利要求1所述的气冷散热装置，其特征在于，该气体泵由该盖板、该压电致动器及该共振片依序对应对叠设置定位，当该压电致动器受驱动以进行集气作业时，气体先由该共振片的该中空孔洞流至该第一腔室暂存，当该压电致动器受驱动以进行排气作业时，气体先由该第一腔室通过该共振片的该中空孔洞流入该导气端开口。

7.如权利要求1所述的气冷散热装置，其特征在于，该压电致动器包含：

一悬浮板，具有一第一表面与一第二表面；

一外框，具有至少一支架，该至少一支架连接该悬浮板及该外框且设置于该悬浮板及该外框之间；以及

一压电陶瓷板，贴附于该悬浮板的该第一表面，用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动。

8.如权利要求1所述的气冷散热装置，其特征在于，该共振片与该压电致动器之间具有一间隙。

9.如权利要求7所述的气冷散热装置，其特征在于，该气体泵更包含至少一绝缘片及一导电片，且该至少一绝缘片及该导电片依序设置于该压电致动器之下。

10.如权利要求7所述的气冷散热装置，其特征在于，该支架、该悬浮板及该外框之间更具有至少一空隙，且该支架的两端点分别连接该外框与该悬浮板。

11.如权利要求7所述的气冷散热装置，其特征在于，该悬浮板于该第二表面上更具有一凸部，且该凸部为一圆柱结构。