[发明专利]一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的气相制备方法

权利要求书

1.一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的制备方法，其特征在于，所述制备方法采用双源气体聚集团簇生长系统，具体步骤如下：

A.双源气体聚集团簇生长：在冷凝腔(2)中通入缓冲气体(3)，保持恒定气压，在冷凝腔(2)中通过磁控溅射Cu、Ag单质靶材，或通过双坩埚同时热蒸发Cu、Ag粉末，产生稠密的Cu、Ag原子气(5)；Cu、Ag原子在缓冲气体(3)气氛中成核生长，形成Cu、Ag团簇；Cu、Ag团簇随缓冲气体(3)向冷凝腔(4)顶部的喷嘴(6)流动并进一步生长，形成核壳结构Cu/Ag纳米合金团簇；

B.团簇束流沉积：Cu/Ag团簇随缓冲气体(3)从喷嘴喷出到高真空腔(9)，完成生长，并形成定向的团簇束流(7)，沉积于衬底(8)表面，制得Cu/Ag纳米合金。

2.根据权利要求1所述的一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的制备方法，其特征在于，步骤A中纳米合金的形成过程在以惰性气体为缓冲气体(3)的冷凝腔(2)中进行，所用惰性气体为氩气或氦气，气压为50Pa-500Pa，温度为77-300K，冷凝腔(2)中的冷凝区长度为50-300mm。

3.根据权利要求1所述的一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的制备方法，其特征在于，步骤A中所述Cu、Ag单质靶材和Cu、Ag粉末均为高纯度物质。

4.根据权利要求1～3任一项所述的一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的制备方法，其特征在于，通过调整Cu、Ag靶溅射功率的相对大小，或Cu、Ag粉末蒸发温度的相对高低，进而获得不同成分比例的Cu/Ag纳米合金。

5.根据权利要求1～3任一项所述的一种核壳结构Cu/Ag纳米合金的制备方法，其特征在于，通过选择所用惰性气体种类，缓冲气体气压，冷凝腔中的冷凝区长度，进而获得不同尺寸的Cu/Ag纳米合金。