[发明专利]一种稀土永磁纳米颗粒的制备方法

权利要求书

1.一种稀土永磁纳米颗粒的制备方法，其特征是：包括以下步骤：

(1)将高纯稀土金属元素与过渡族金属元素熔炼为稀土永磁块体材料；

(2)以步骤(1)制得的稀土永磁块体材料为靶材，采用纳米团簇沉积装置，在基片表面沉积稀土永磁纳米颗粒；

(3)在经步骤(2)沉积的稀土永磁纳米颗粒表面沉积抗氧化覆盖层。

2.如权利要求1所述的稀土永磁纳米颗粒的制备方法，其特征是：所述的稀土永磁材料包括稀土铁系永磁合金材料与稀土钴系永磁合金材料。

3.如权利要求2所述的稀土永磁纳米颗粒的制备方法，其特征是：所述的稀土铁系永磁合金材料包括由Nd-Fe-B元素构成的永磁材料以及包含其他掺杂元素的Nd-Fe-B永磁材料；所述的稀土钴系永磁合金材料包括由Sm-Co元素构成的永磁材料以及包含其他掺杂元素的Sm-Co永磁材料。

4.如权利要求1、2或3所述的稀土永磁纳米颗粒的制备方法，其特征是：所述的纳米团簇沉积装置包括团簇源、冷凝聚集腔与沉积腔；团簇源利用磁控溅射或者弧光放电使靶材产生高密度原子气，在冷凝聚集腔中原子气经惰性气体冷却聚集，形成纳米团簇，该纳米团簇沉积在位于沉积腔中的基片表面。

5.如权利要求1所述的稀土永磁纳米颗粒的制备方法，其特征是：所述的步骤(2)中，稀土永磁纳米颗粒的沉积过程如下：

(1)调整靶材与团簇源的位置，将基片放入沉积腔中，抽真空至沉积腔真空度至10-8mbar以上；

(2)设置惰性气体的流速，打开冷凝聚集腔的冷凝介质开关，设置团簇源功率，利用惰性气体轰击靶材产生高密度原子气，在冷凝聚集腔中原子气经惰性气体冷却聚集，形成纳米团簇，该纳米团簇沉积在位于沉积腔中的基片表面。

6.如权利要求4所述的稀土永磁纳米颗粒的制备方法，其特征是：所述的纳米团簇沉积装置还包括石英振荡器，设置在基片与纳米团簇之间。

7.如权利要求6所述的稀土永磁纳米颗粒的制备方法，其特征是：所述的步骤(2)如下：

设置惰性气体的流速，打开冷凝聚集腔的冷凝介质开关，设置团簇源功率，利用惰性气体轰击靶材产生高密度原子气，在冷凝聚集腔中原子气经惰性气体冷却聚集，形成纳米团簇，利用石英振荡器测团簇束流的流速，然后抬起石英振荡器，该纳米团簇沉积在位于沉积腔中的基片表面，根据团簇束流的流速设置沉积时间。

8.如权利要求4所述的稀土永磁纳米颗粒的制备方法，其特征是：所述的纳米团簇沉积装置还包括加热腔，所述的纳米团簇形成后经过该加热腔加热。

9.如权利要求4所述的稀土永磁纳米颗粒的制备方法，其特征是：所述的纳米团簇沉积装置还包括包覆源，用于对纳米团簇进行表面修饰。

10.如权利要求4所述的稀土永磁纳米颗粒的制备方法，其特征是：所述的纳米团簇沉积装置还包括四极杆质量过滤器。