[发明专利]像面形态可调的光学相干层析方法及系统

权利要求书

1.一种像面形态可调的光学相干层析方法，其特征在于包括如下步骤：

（1）将相干光源发出的光信号经耦合器分路后，分别作用于样品臂和参考臂，为样品臂提供照明，在参考臂构建参考光信号；

（2）在样品臂，将样品放置于物镜的物方焦平面上，由样品发出的光信号经物镜准直后平行出射至衍射器件，进行光谱译码；得到的光谱译码信号由聚焦镜头聚焦至相位调制器上，经相位调制后输出至耦合器；

（3）在参考臂，参考光信号经快速扫描延迟线实现相延迟与群延迟的分离，再经聚焦镜头聚焦至色散控制器件；依据像面形态的种类和参数，采用色散控制器件对分离的相、群延迟信号及各阶色散进行色散控制；再经相位控制器件的相位调制，与样品臂的信号达成相位匹配后输出至耦合器；

（4）耦合器对来自样品臂和参考臂的光信号进行干涉处理，将得到的干涉信号输入光谱探测器，经处理，得到各个像面的层析图像。

2.根据权利要求1所述的一种像面形态可调的光学相干层析方法，其特征在于：所述像面形态的种类包括抛物面、球面或椭球面。

3.一种像面形态可调的光学相干层析系统，包括相干光源、耦合器、样品臂、参考臂、光谱探测器，相干光源发射的光信号经耦合器处理后，向样品臂提供照明光，在参考臂构建参考光信号；其特征在于：所述的样品臂包括：物镜、衍射器件、聚焦镜头、相位调制器；样品置于物镜的物方焦平面处，由样品发出的光信号经物镜准直后得到的平行光束出射至衍射器件进行光谱译码；经光谱译码后的光信号由样品臂中所述的聚焦镜头聚焦至样品臂的相位调制器，调制处理后的信号输入至耦合器；所述的参考臂包括：快速扫描延迟线、聚焦镜头、相位调制器和色散控制器件；所述的快速扫描延迟线对参考光信号实施相延迟与群延迟的分离，分离后的光信号由参考臂中所述的聚焦镜头聚焦于参考臂的相位调制器进行相位调制，再经色散控制器对参考光信号实施色散调制后输入至耦合器；耦合器再对来自样品臂和参考臂的光信号进行干涉处理，将得到的干涉信号输入至光谱探测器。

4.根据权利要求3所述的一种像面形态可调的光学相干层析系统，其特征在于：所述的衍射器件为反射式的衍射光栅。

5.根据权利要求3所述的一种像面形态可调的光学相干层析系统，其特征在于：所述的光谱探测器为采用光栅或棱镜进行分光的色散型光谱仪。