[发明专利]研磨装置、用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置和方法

权利要求书

1.一种用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置，其特征在于，具备：

垫接触构件，该垫接触构件能够与所述研磨垫的表面接触，且在内部形成有加热流路和冷却流路；

加热液供给管，该加热液供给管连接于所述加热流路；

冷却液供给管，该冷却液供给管连接于所述冷却流路；

第一流量控制阀，该第一流量控制阀安装于所述加热液供给管；

第二流量控制阀，该第二流量控制阀安装于所述冷却液供给管；

垫温度测定器，该垫温度测定器对所述研磨垫的表面温度进行测定；以及

阀控制部，该阀控制部基于所述研磨垫的表面温度，对所述第一流量控制阀和所述第二流量控制阀进行操作，

所述加热流路的入口和所述冷却流路的入口位于所述垫接触构件的周缘部，

所述加热流路的出口和所述冷却流路的出口位于所述垫接触构件的中心部。

2.根据权利要求1所述的用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置，其特征在于，

所述加热流路和所述冷却流路彼此邻接地延伸，且呈螺旋状延伸。

3.根据权利要求2所述的用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置，其特征在于，

所述加热流路和所述冷却流路沿着所述研磨垫的周向排列。

4.据权利要求2所述的用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置，其特征在于，

所述加热流路和所述冷却流路从所述垫接触构件的中心部向外侧交替地排列。

5.据权利要求2所述的用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置，其特征在于，

所述加热流路和所述冷却流路分别具有多个圆弧流路和多个倾斜流路，所述多个倾斜流路将所述多个圆弧流路连结。

6.据权利要求5所述的用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置，其特征在于，

所述加热流路和所述冷却流路具有点对称的形状。

7.根据权利要求1所述的用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置，其特征在于，

所述加热流路和所述冷却流路相对于所述研磨垫的半径方向对称。

8.根据权利要求1所述的用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置，其特征在于，

所述阀控制部决定为了消除目标温度与所述研磨垫的表面温度之差所需要的所述第一流量控制阀的操作量和所述第二流量控制阀的操作量。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置，其特征在于，

在将所述第一流量控制阀和所述第二流量控制阀各自的操作量以0％～100％的数值表示时，所述阀控制部通过从100％减去所述第一流量控制阀和所述第二流量控制阀中的一方的操作量，来决定所述第一流量控制阀和所述第二流量控制阀中的另一方的操作量。

10.一种研磨装置，用于对基板进行研磨，该研磨装置的特征在于，具备：

研磨台，该研磨台对研磨垫进行支承；

研磨液供给喷嘴，该研磨液供给喷嘴配置于所述研磨垫的中央部的上方；

垫接触构件，该垫接触构件能够与所述研磨垫的表面接触，且在内部形成有加热流路和冷却流路；

加热液供给管，该加热液供给管连接于所述加热流路的入口；以及

冷却液供给管，该冷却液供给管连接于所述冷却流路的入口，

所述加热流路的入口和所述冷却流路的入口位于所述垫接触构件的周缘部，

所述加热流路的出口和所述冷却流路的出口位于所述垫接触构件的中心部，

所述加热流路的入口位于所述研磨垫的中心侧，

所述冷却流路的入口位于所述研磨垫的外周侧。