[发明专利]太阳能电池及其制造方法在审
申请号: | 201710096491.8 | 申请日: | 2017-02-22 |
公开(公告)号: | CN108123010A | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 刘书岩;李岳霖 | 申请(专利权)人: | 茂迪股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/068 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 张秋越 |
地址: | 中国台湾新北市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅表面 电镀 太阳能电池 电极 网印 电镀金属层 钝化层 图案化 制造 基板 开槽 背面电极 正面电极 电镀液 制程 裸露 | ||
1.一种太阳能电池的制造方法,其特征在于,包含:
提供一基板,包含相对应的一第一硅表面与一第二硅表面;
形成一第一钝化层于该第一硅表面上;
形成一第一网印电极于该第一硅表面上;
于该第一钝化层上形成一第一图案化开槽,以裸露该第一硅表面;以及
将该第一网印电极作为电镀接点,使该第一图案化开槽于一第一电镀液中形成一第一电镀金属层。
2.如权利要求1所述的太阳能电池的制造方法,其特征在于,当形成该第一电镀金属层时,该第一网印电极与该第一电镀液隔绝。
3.如权利要求1或2所述的太阳能电池的制造方法,其特征在于,该第一网印电极的分布以该第一硅表面的中心点为准,呈中心对称。
4.如权利要求1或2所述的太阳能电池的制造方法,其特征在于,该第一图案化开槽为形成该太阳能电池的一汇流电极、一指状电极与一环状电极组合中至少一种电极的对应图案。
5.如权利要求1或2所述的太阳能电池的制造方法,其特征在于,还包含:
形成一第二钝化层于该第二硅表面上;
形成一第二网印电极于该第二硅表面上;
于该第二钝化层上形成一第二图案化开槽,以裸露该第二硅表面;以及
将该第二网印电极作为电镀接点,使该第二图案化开槽于一第二电镀液中形成一第二电镀金属层。
6.如权利要求5所述的太阳能电池的制造方法,其特征在于,当该第一图案化开槽于该第一电镀液中形成该第一电镀金属层时,该第二图案化开槽也同时于该第二电镀液中形成该第二电镀金属层。
7.一种太阳能电池,其特征在于,包含:
一第一硅表面及与该第一硅表面相对应的一第二硅表面;
一第一电镀金属层;以及
一第一网印电极;
其中该第一网印电极与该第一电镀金属层设置在该第一硅表面上,且该第一网印电极具有一第一裸露表面。
8.如权利要求7所述的太阳能电池,其特征在于,该第一电镀金属层为该太阳能电池的一汇流电极、一指状电极与一环状电极组合中至少一种电极。
9.如权利要求8所述的太阳能电池,其特征在于,当该第一电镀金属层为该汇流电极时,该汇流电极与该第一网印电极直接接触。
10.如权利要求8所述的太阳能电池,其特征在于,当该第一电镀金属层为该汇流电极时,该汇流电极与该第一网印电极不直接接触。
11. 如权利要求7~10中任一项所述的太阳能电池,其特征在于,还包含:
一第二电镀金属层;以及
一第二网印电极;
其中该第二网印电极与该第二电镀金属层设置在该第二硅表面上,且该第二网印电极具有一第二裸露表面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的