[发明专利]压力传感器及其制造方法

说明书

本发明提供一种压力传感器及其制造方法。压力传感器包括一第一电极、覆盖第一电极的一感压层以及覆盖感压层的一第二电极。所述感压层中包括支撑材料，所述支撑材料为长径比在100至5000的纳米级材料。通过纳米级材料的特性，能提升压力传感器中感压层的机械性质。

技术领域

本发明涉及一种压力感测技术，尤其是涉及一种压力传感器及其制造方法。

背景技术

随着科技的进步，各式各样的电子产品都朝向轻、薄、短、小的尺寸发展，其中在触控装置中，压力传感器的尺寸是其朝向轻、薄、短、小发展的关键。然而，在现有技术中，当压力传感器缩小到一定尺寸后，压力传感器中的感压变形层会因机械强度不足，导致受压变形后，无法完全回复原有的样子，大幅缩减了压力传感器的使用寿命。因此，目前急需开发一种能解决前述问题的压力传感器。

发明内容

本发明提供一种压力传感器，具有优异的机械强度，以提高压力传感器的使用寿命。

本发明又提供一种压力传感器的制造方法，能制作出具有优异的机械强度的压力传感器，以提高压力传感器的使用寿命。

本发明的压力传感器，包括第一电极、覆盖第一电极的感压层以及位于感压层上的第二电极，其中感压层包括支撑材料，支撑材料包括长径比在100至5000的纳米级材料。

本发明的压力传感器的制造方法，包括形成第一电极，再利用三维(3D)打印形成覆盖第一电极的感压层，然后于感压层上形成一第二电极，其中感压层包括支撑材料，支撑材料包括长径比在100至5000的纳米级材料。

基于上述，本发明在感压层中具有高刚性、高强度、高长径比的纳米级材料，能大幅提升了压力传感器的机械性质，即使在装置尺寸很小的情况下，压力传感器受压变形后仍能回复原来的形状，因此可大幅提升压力传感器的使用寿命。此外，由于本发明利用3D打印技术制作压力感应器，因此能将原本难以混入感压层的材料(如纳米纤维素)完美地混合在感压层，而获得机械强度大的压力传感器。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所示附图作详细说明如下。

附图说明

图1A是依照本发明的一实施例的一种电阻式压力传感器，于未受压情况下的示意图。

图1B是图1A的电阻式压力传感器受压情况下的剖面图。

图2A是依照本发明的另一实施例的一种电容式压力传感器，于未受压情况下的示意图。

图2B是图2A的电容式压力传感器受压情况下的剖面图。

图3至图5是依照本发明的又一实施例的压力传感器的制造流程剖面示意图。

附图标记说明：

100：电阻式压力传感器；

110、210、320：第一电极；

120、220、330：感压层；

122：支撑材料；

124、224：高分子材料；

126、226：纳米级材料；

128：导电颗粒；

130、230、340：第二电极；

200：电容式压力传感器；

300：压力传感器；

310：基板；

H1、H2：高度。

具体实施方式