[发明专利]陶瓷圆筒形溅射靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 201710100134.4 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN107419226B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 真崎贵则;石田新太郎 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/01;C04B35/622;C04B35/634 |
| 代理公司： | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 陶瓷 圆筒 溅射 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种陶瓷圆筒形溅射靶材，其为长度在500mm以上、内径在100mm以上且相对密度在99.5％以上的一体部件的烧结体。
2.一种圆筒形溅射靶，其通过接合材料而将如下的陶瓷圆筒形溅射靶材接合于使用了不锈钢或钛作为材料的背衬管上而形成，所述陶瓷圆筒形溅射靶材为长度在500mm以上、内径在100mm以上且相对密度在99.5％以上的一体部件的烧结体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三井金属矿业株式会社，未经三井金属矿业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710100134.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种旋转式搓澡器
- 下一篇：智能一体式厕所清洁装置
- 同类专利
- 专利分类
