[发明专利]一种液体温控装置

说明书

本发明提供一种液体温控装置，通过设置多根可以进行独立控制的加热装置及冷却装置，实现对流过所述加热装置及所述冷却装置的所述液体的温度进行精确控制，实现所述液体的温度控制在设定温度的±0.2℃～±3℃以内。同时，通过将所述温度控制器设于所述储液罐的外部，实现所述液体的流动，进而降低所述冷却装置与所述液体之间的热电阻，增加所述冷却装置的传热效率。同时，由于传热效率的增加，进一步的实现所述液体的准确控温。

技术领域

本发明涉及温度控制领域，尤其涉及一种液体温控装置。

背景技术

在现有的液晶面板的基板制作过程中，经常需要对基板进行湿法蚀刻，以得到所需的图案。而刻蚀液必须有相对稳定的一个温度，以保证所述基板在一定时间内实现相同的蚀刻效果。因此，就必须对所述蚀刻液进行一定的温度控制。

目前，一般的温控装置中的温控装置位于存放刻蚀液的储液罐中，冷却装置是一个整体设置的，且多个所述加热装置及所述冷却装置均统一控制。即多个所述加热装置同时工作或停止，多个所述冷却装置同时工作或停止，使得所述温控装置的温度控制精度较低，一般只能控制所述刻蚀液的温度在设定温度的±3℃以上。

发明内容

本发明的目的在于提供一种液体温控装置，提高所述液体温控装置的温度控制精度。

为了解决上述问题，本发明提供一种液体温控装置，包括储液罐、与所述储液罐连接的温度控制器及与所述温度控制器连接的液压泵，所述储液罐与所述温度控制器及所述液压泵之间通过管道进行连接形成循环系统，所述温度控制器包括可进行独立工作的多个加热装置及与每个所述加热装置相对应的冷却装置。

其中，所述温度控制器位于所述储液罐外部。

其中，所述温度控制器还包括多个控温管道，每一个加热装置与其相对应的冷却装置均位于所述控温管道内，多个所述控温管道串联连接。

其中，所述液体温控装置还包括两个温度感应器，所述每一温度传感器与所述管道连接，两个温度感应器分别位于所述温度控制器的两端。

其中，所述加热装置为石英加热棒。

其中，所述冷却装置为冷却水管道，每一所述冷却水管道缠绕于每一所述加热装置外部。

其中，所述管道包括进液管及出液管，所述进液管及所述出液管的一端连接所述储液罐，另一端连接所述控温管道。

其中，所述管道及所述冷却水管道为PVC管或PFC管。

其中，所述液体温控装置控制所述液体温度为设定温度的±0.2℃。

其中，所述冷却装置的传热系数为230W/m²·K。

本发明提供的所述液体温控装置，通过设置多根可以进行分别工作，独立控制的加热装置及冷却装置，实现对流过所述加热装置及所述冷却装置的所述液体的温度进行精确控制，实现所述液体的温度控制在设定温度的±0.2℃～±3℃以内。同时，通过将所述温度控制器设于所述储液罐的外部，实现所述液体的流动，进而降低所述冷却装置与所述液体之间的热电阻，增加所述冷却装置的传热效率。同时，由于传热效率的增加，进一步的实现所述液体的准确控温。

附图说明

为更清楚地阐述本发明的构造特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对其进行详细说明。

图1是本发明实施例的结构示意图；

图2是本发明实施例中所述温度控制器的结构示意图。

具体实施例

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，不能理解为对本申请的限制。