[发明专利]用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉

权利要求书

1.用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，其特征是，包括导流件、吊装法兰、隔热屏、坩埚、导流加热器、坩埚加热器；所述隔热屏设在导流件和坩埚外围，所述导流件为管状空心结构，坩埚是具有一开口的罐状容器，导流件与坩埚通过开口相连通，所述导流件的侧壁设有可透射物料的喷孔；所述导流加热器设置在导流件外围，所述导流加热器设置通过具有绝缘性的固定环设置在导流件与隔热屏之间；所述坩埚加热器设置在坩埚外围，所述坩埚加热器设置设置在坩埚与隔热屏之间；所述隔热屏侧壁设有对应喷孔的通道，所述吊装法兰将导流件与隔热屏组装固定。

2.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，其特征是：还包括喷头，所述喷头呈喇叭口型，喷头设置在通道内对应喷孔设置。

3.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，其特征是：所述导流件与坩埚螺纹连接，所述导流件与坩埚的密封面呈刀口状，导流件与坩埚的密封面之间设有密封件，密封件为石墨材料。

4.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，其特征是：所述喷孔的孔径为0.5至12mm，所述喷孔的数量是1至50个。技术效果：为了适应更多的蒸发有效幅宽。

5.如权利要求5所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，其特征是：各喷孔的孔径大小不一，喷孔之间的间距不等。

6.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，其特征是：所述导流加热器和坩埚加热器均包括加热体和导流加热器电极，加热体连接导流加热器电极，所述导流加热器与导流件采用螺丝连接，所述螺丝为石墨、钽、钼材料中的任一一种。

7.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，其特征是：隔热屏包括设置在导流件外围的导流件隔热屏、设置在坩埚外围的坩埚隔热屏，所述导流件隔热屏与坩埚隔热屏相拼接，所述导流件隔热屏包括若干层隔热片，若干层的隔热片由内向外相互套设，各隔热片之间具有间隙距离。

8.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，其特征是：所述隔热屏、坩埚均采用石墨、钽、钼材料中的任一一种或其相互组合。

9.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，其特征是：还包括水冷管道，所述水冷管道设置在隔热屏的最外层，所述水冷管道是采用不锈钢板材焊接在隔热屏最外层的外侧。

10.如权利要求7所述的用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，其特征是：所述隔热片呈圆管状，所述隔热片包括大半圆片和小半圆片，大半圆片和小半圆片相拼合组成单个隔热片，各层隔热片在设置时其拼接线呈左右交错设置。