[发明专利]结构体、以及图案形成方法

说明书

本申请以日本专利申请2016-131484(申请日为2016年7月1日)为基础，根据该申请而主张优先权。本申请参照该申请，包含该申请的全部内容。

技术领域

本发明的实施方案涉及结构体、以及图案形成方法。

背景技术

例如，有多个粒子相互接触而排列的结构体。难以将多个粒子相互分离而排列。难以控制多个粒子的排列方向。

发明内容

本发明的实施方案提供能够将多个粒子相互分离而排列的结构体、以及图案形成方法。

根据本发明的实施方案，结构体包含多个粒子和基体。所述多个粒子相互分离。所述多个粒子分别含有设置在所述多个粒子各自的表面上的第1高分子。所述基体具备具有凸部和凹部的面。所述基体含有设置在所述面上的第2高分子。所述第2高分子与所述第1高分子不同。所述多个粒子被所述凸部支持，所述多个粒子与所述凹部分离。

根据上述技术构成的结构体，能够提供能将多个粒子相互分离而排列的结构体、以及图案形成方法。

附图说明

图1(a)～图1(d)是对第1实施方案涉及的结构体进行例示的示意图。

图2(a)～图2(c)是对第1实施方案涉及的结构体的制造方法进行例示的示意剖面图。

图3(a)～图3(d)是表示与结构体相关的实验的示意图。

图4(a)和图4(b)是对接触角进行例示的示意图。

图5是对第1实施方案涉及的另一结构体进行例示的示意俯视图。

图6是对第1实施方案涉及的另一结构体进行例示的示意俯视图。

图7是对第1实施方案涉及的另一结构体进行例示的示意俯视图。

图8是对第1实施方案涉及的另一结构体进行例示的示意俯视图。

图9是对第1实施方案涉及的另一结构体进行例示的示意俯视图。

图10(a)～图10(d)是表示与结构体相关的实验的示意图。

图11是对第2实施方案涉及的图案形成方法进行例示的流程图。

图12(a)～图12(f)是对第2实施方案涉及的图案形成方法进行例示的工序顺序示意剖面图。

附图标记说明

10…粒子，10C…核部，10L…液体，10PL…第1高分子，11～13…第1～第3粒子，11c～13c…第1～第3粒子中心，11i～13i…第1～第3中间区域，11n～13n…位点区域，18…溶液膜，20…基体，20C…基体核部，20PL…第2高分子，20b…结构部件，20bf…第1膜，20bg…第2膜，20d…凹部，20f…面，20h…孔，20p…凸部，20s…基板，20sa…第1部分区域，20sb…第2部分区域，21～26…第1～第6凸部区域，21c…第1凸部区域中心，22c…第2凸部区域中心，θ1、θ2…接触角，110～115…结构体，AA…箭头，L1～L3…第1～第3直线，SP1～SP6…第1～第6试料，d1、d2…距离，d20…距离，pr1～pr4…第1～第4凸部分区域，r1～r6…第1～第6位点区域，w1、w2…距离

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的各实施方案进行说明。

附图是示意性或概念性的图示，因此各部分的厚度与宽度的关系、部分之间的大小比例等并不一定与现实相同。即使在表示相同部分的情况下，有时也会根据附图不同而表示出相互不同的尺寸、比例。

在本申请说明书和各图中，对于与前面附图相关的已经说明的部分同样的要素，附带相同标记并适当省略详细说明。

(第1实施方案)

图1(a)～图1(d)是对第1实施方案涉及的结构体进行例示的示意图。

图1(a)是从图1(b)的箭头AA观察的俯视图。图1(b)是图1(a)的A1-A2线剖面图。图1(c)是图1(a)的B1-B2线剖面图。图1(d)是图1(a)的C1-C2线剖面图。

如图1(a)～图1(d)所示，本实施方案涉及的结构体110包含多个粒子10和基体20。

多个粒子10相互分离。多个粒子10分别含有第1高分子10PL。在图1(a)中省略第1高分子10PL。第1高分子10PL被设置在多个粒子10各自的表面。

在该例中，多个粒子10分别还含有核部10C(参照图1(b)～图1(d))。第1高分子10PL被设置在核部10C的周围。例如，第1高分子10PL与核部10C的表面结合。例如，通过接枝聚合实现结合。例如，通过第1高分子10PL，核部10C相互分离而排列。